Diamond disk micro-electro-mechanical transducers, CDISK

金刚石圆盘微机电换能器，CDISK

基本信息

批准号：
317885617
负责人：
Professor Dr. Oliver Ambacher
金额：
--
依托单位：
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik (IAF)
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2017
资助国家：
德国
起止时间：
2016-12-31 至 2019-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/317885617?language=en
关键词：
Diamond disk micro electro mechanical

Diamond disk micro electro mechanical

项目摘要

Here, we propose a novel approach to achieve high Q-factors for electro-acoustic oscillators. Such systems require low impedance and high tunability, which is compatible with emerging front-end schemes. Within this project, we develop new types of tunable piezo-capacitive micro-electro-mechanical oscillators. The proposed transducers employ

在这里，我们提出了一种新的方法，以实现电声振荡器的高Q因子。这样的系统需要低阻抗和高可调性，这与新兴的前端方案兼容。在该项目中，我们开发了新型的可调压电微电机电振荡器的新型类型。拟议的传感器雇用

项目成果

期刊论文数量（7）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Quality Assessment of In Situ Plasma‐Etched Diamond Surfaces for Chemical Vapor Deposition Overgrowth

用于化学气相沉积过度生长的原位等离子蚀刻金刚石表面的质量评估

DOI：
10.1002/pssa.202100035
发表时间：
2021
期刊：
physica status solidi (a)
影响因子：
0
作者：
J. Langer;V. Cimalla;M. Prescher;J. Ligl;B. Tegetmeyer;C. Schreyvogel;O. Ambacher
通讯作者：
O. Ambacher

Temperature Cross-Sensitivity of AlN-Based Flexural Plate Wave Sensors

DOI：
10.1109/jsen.2018.2853644
发表时间：
2018-10
期刊：
IEEE Sensors Journal
影响因子：
4.3
作者：
M. Reusch;K. Holc;V. Lebedev;N. Kurz;A. Žukauskaitė;O. Ambacher
通讯作者：
M. Reusch;K. Holc;V. Lebedev;N. Kurz;A. Žukauskaitė;O. Ambacher

Microstructural and optical emission properties of diamond multiply twinned particles

DOI：
10.1063/1.5127170
发表时间：
2020-01
期刊：
arXiv: Applied Physics
影响因子：
0
作者：
V. Lebedev;Taro Yoshikawa;Christoph Schreyvogel;L. Kirste;J. Weippert;M. Kunzer;A. Graff;O. Ambacher
通讯作者：
V. Lebedev;Taro Yoshikawa;Christoph Schreyvogel;L. Kirste;J. Weippert;M. Kunzer;A. Graff;O. Ambacher

Nanodiamond resonators fabricated on 8″ Si substrates using adhesive wafer bonding

使用晶圆粘合技术在 8â3 Si 基板上制造纳米金刚石谐振器

DOI：
10.1088/1361-6439/aa6e76
发表时间：
2017
期刊：
Journal of Micromechanics and Microengineering
影响因子：
2.3
作者：
V. Lebedev;T. Lisec;T. Yoshikawa;M. Reusch;D. Iankov;C. Giese;A. Žukauskaitė;V. Cimalla;O. Ambacher
通讯作者：
O. Ambacher

Growth defects in heteroepitaxial diamond

异质外延金刚石的生长缺陷

DOI：
10.1063/5.0045644
发表时间：
2021
期刊：
Journal of Applied Physics
影响因子：
3.2
作者：
V. Lebedev;J. Engels;J. Kustermann;J. Weippert;V. Cimalla;L. Kirste;Ch. Giese;P. Quellmalz;A. Graff;F. Meyer;M. Höfer;V. Sittinger
通讯作者：
V. Sittinger