NEMS based diamond field emitters for new generation of low loss RF switches

用于新一代低损耗射频开关的基于 NEMS 的金刚石场发射器

• 批准号: 187805147
• 负责人: Professor Dr. Oliver Ambacher
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Nachhaltige Technische Systeme (INATECH)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2010-12-31 至 2015-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/187805147?language=en
• 关键词: NEMS; based; diamond; field; emitters

Dynamische RF NEMS Schalter, die durch ns Impulse angetrieben werden, sind bisher sehr wenig erforscht. Grund hierfür sind die notwenigen Abmessungen im Nanometerbereich und die schnelle Degradation der Schalter, die Milliarden mechanischer Bewegungen und elektrischer Kontakte pro Sekunde herstellen müssen. Deshalb besteht das Ziel des Projektes darin, neue Antriebs- und Übertragungsprinzipien für Nano-Schalter zu prüfen, um diese Probleme zu lösen. Wir haben vor, neue komplementäre unimorphe RF-Balken (RF-Cube) Schalter auf Basis von NEMS Technologien und dem Betrieb im kontaktlosen Modus zu realisieren, die durch Feldemission/Tunneling über eine Nano-Lücke zwischen zwei Balken aus Nanodiamant mit geringer Elektronenaffinität arbeiten. Der Betrieb der Schalter sollte entweder piezoelektrisch, durch die Bewegung komplementärer unimorpher AlN/Nanodiamant-Balken oder optisch durch ein kürzlich vorgestelltes Licht-induziertes Feldeffekt- Phänomen erfolgen.

Dynamische RF NEMS Schalter，在脉冲控制过程中，会产生影响。 RF-Balken (RF-Cube) Schalter auf Basis von NEMS技术和 Betrieb 是与现实相关的方法，在纳米发射/隧道中使用 Balken 的 Nanodiamant 和 Elektronenaffinität arbeiten。复合单晶 AlN/Nanodiamant-Balken 或光学在 kürzlich vorgestelltes Licht-induziertes Feldeffekt- Phänomen erfolgen 中。

项目成果

Enhanced mechanical performance of AlN/nanodiamond micro-resonators

增强 AlN/纳米金刚石微谐振器的机械性能

• DOI: 10.1088/0960-1317/23/12/125017
• 发表时间: 2013
• 期刊: Journal of Micromechanics and Microengineering
• 影响因子: 2.3
• 作者: N. Heidrich;J. Hees;W. Pletschen;R.E. Sah;L. Kirste;V. Zuerbig;C. Nebel;O. Ambacher;V. Lebedev
• 通讯作者: V. Lebedev

Processing of Nanoscale Gaps for Boron-doped Nanocrystalline Diamond Based MEMS☆

硼掺杂纳米晶金刚石基 MEMS 纳米级间隙的加工

• DOI: 10.1016/j.proeng.2014.11.301
• 发表时间: 2014
• 期刊: Procedia Engineering
• 作者: D. Iankov;V. Zuerbig;W. Pletschen;C. Giese;R. Iannucci;O. Ambacher;V. Lebedev
• 通讯作者: V. Lebedev

Transparent diamond electrodes for tunable micro-optical devices☆

用于可调谐微光学器件的透明金刚石电极â

• DOI: 10.1016/j.diamond.2013.06.010
• 发表时间: 2013
• 期刊: Diamond and Related Materials
• 影响因子: 4.1
• 作者: V. Zuerbig;W. Pletschen;J. Hees;R. E. Sah;L. Kirste;N. Heidrich;C. E. Nebel;O. Ambacher;V. Lebedev
• 通讯作者: V. Lebedev

Nano-diamond vacuum MEMS for RF applications

• DOI: 10.1109/transducers.2013.6626741
• 发表时间: 2013-01-01
• 期刊: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII)
• 作者: Heidrich, N.;Hees, J.;Lebedev, V.
• 通讯作者: Lebedev, V.

Piezoelectrically actuated diamond cantilevers for high-frequency applications

适用于高频应用的压电驱动金刚石悬臂梁

• DOI: 10.1016/j.diamond.2013.06.015
• 发表时间: 2013
• 期刊: Diamond and Related Materials
• 影响因子: 4.1
• 作者: N. Heidrich;V. Zuerbig;D. Iankov;W. Pletschen;R.E. Sah;B. Raynor;L. Kirste;C.E. Nebel;O. Ambacher;V. Lebedev
• 通讯作者: V. Lebedev