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Nanodiamond resonators fabricated on 8″ Si substrates using adhesive wafer bonding

使用晶圆粘合技术在 8â3 Si 基板上制造纳米金刚石谐振器

基本信息

DOI:
10.1088/1361-6439/aa6e76
发表时间:
2017
影响因子:
2.3
通讯作者:
O. Ambacher
中科院分区:
工程技术4区
文献类型:
--
作者: V. Lebedev;T. Lisec;T. Yoshikawa;M. Reusch;D. Iankov;C. Giese;A. Žukauskaitė;V. Cimalla;O. Ambacher研究方向: -- MeSH主题词: --
关键词: --
来源链接:pubmed详情页地址

文献摘要

参考文献(30)
被引文献(4)
Enhanced actuation of nanocrystalline diamond microelectromechanical disk resonators with AlN layers
DOI:
10.1063/1.4948343
发表时间:
2016-04
期刊:
Applied Physics Letters
影响因子:
4
作者:
Taro Yoshikawa;M. Reusch;K. Holc;D. Iankov;V. Zuerbig;A. Žukauskaitė;C. Nebel;O. Ambacher;V. Lebedev
通讯作者:
Taro Yoshikawa;M. Reusch;K. Holc;D. Iankov;V. Zuerbig;A. Žukauskaitė;C. Nebel;O. Ambacher;V. Lebedev
High-Q optomechanical circuits made from polished nanocrystalline diamond thin films
由抛光纳米晶金刚石薄膜制成的高 Q 光机械电路
DOI:
10.1016/j.diamond.2014.02.005
发表时间:
2014
期刊:
Diamond and Related Materials
影响因子:
4.1
作者:
S. Ummethala;P. Rath;G. Lewes‐Malandrakis;D. Brink;C. Nebel;W. Pernice
通讯作者:
W. Pernice
Super-High-Frequency SAW Resonators on AlN/Diamond
DOI:
10.1109/led.2012.2183851
发表时间:
2012-04-01
期刊:
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS
影响因子:
4.9
作者:
Rodriguez-Madrid, J. G.;Iriarte, G. F.;Calle, F.
通讯作者:
Calle, F.
Polycrystalline diamond MEMS resonator technology for sensor applications.
适用于传感器应用的多晶金刚石 MEMS 谐振器技术。
DOI:
10.1016/j.diamond.2005.08.032
发表时间:
2005
期刊:
影响因子:
0
作者:
J. Sullivan;D. Aslam;Nelson Sepulveda
通讯作者:
Nelson Sepulveda
Nano-diamond based spheres for radio frequency electromechanical resonators
DOI:
10.1088/0960-1317/24/4/045015
发表时间:
2014-04
期刊:
Journal of Micromechanics and Microengineering
影响因子:
2.3
作者:
V. Lebedev;D. Iankov;N. Heidrich;V. Zuerbig;C. Wild;V. Cimalla;O. Ambacher
通讯作者:
V. Lebedev;D. Iankov;N. Heidrich;V. Zuerbig;C. Wild;V. Cimalla;O. Ambacher

数据更新时间:{{ references.updateTime }}

关联基金

Diamond disk micro-electro-mechanical transducers, CDISK
批准号:
317885617
批准年份:
2017
资助金额:
0
项目类别:
Research Grants
O. Ambacher
通讯地址:
--
所属机构:
--
电子邮件地址:
--
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