Photon assisted cleaning and particle removal from critical surfaces
光子辅助清洁和去除关键表面的颗粒
基本信息
- 批准号：167552-1994
- 负责人：
- 金额：$ 6.36万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Strategic Projects - Group
- 财政年份：1996
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：1996-01-01 至 1997-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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