Creation of growth technique for high-quality zinc oxide thin films using catalytically generated high-energy H2O beam

利用催化产生的高能 H2O 束创建高质量氧化锌薄膜的生长技术

• 批准号: 24360014
• 负责人: YASUI Kanji
• 金额: $ 12.4万
• 依托单位: Nagaoka University of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2012
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2012-04-01 至 2015-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-24360014/
• 关键词: 化学気相堆積法; 触媒反応; 酸化亜鉛薄膜; 酸化亜鉛; 薄膜

项目成果

Properties of zinc oxide films grown on sapphire substrates using high-temperature H2O generated by a catalytic reaction on platinum nanoparticles

• DOI: 10.1116/1.4831969
• 发表时间: 2014-03
• 期刊: Journal of Vacuum Science and Technology
• 作者: K. Yasui;T. Takeuchi;Eichi Nagatomi;Souichi Satomoto;H. Miura;T. Kato;T. Konya

ZnO film growth using catalytic reaction assisted chemical vapor deposition

利用催化反应辅助化学气相沉积法生长 ZnO 薄膜

• 发表时间: 2014
• 作者: Z;Sitar;B;E;Gaddy;R;Collazo;J;Xie;Z;Biyan;R;Kirste;M;Hoffmann;R;Dalmau;B;Moody;Y;Kumagai;T;Nagashima;Y;Kubota;T;Kinoshita;A;Koukitu;D;L;Irving;Kanji Yasui
• 通讯作者: Kanji Yasui

H_2-O_2触媒反応生成高エネルギーH_2Oを用いて堆積したZnO/a-Al_2O_3の電気伝導特性の解析

H_2-O_2催化反应产生高能H_2O沉积ZnO/a-Al_2O_3的导电性能分析

• 发表时间: 2012
• 作者: 速水義之;河村貴宏;鈴木泰之;寒川義裕;柿本浩一;永冨瑛智,山口直也,清水英彦,梅本宏信,加藤孝弘,安井寛治
• 通讯作者: 永冨瑛智,山口直也,清水英彦,梅本宏信,加藤孝弘,安井寛治

Epitaxial growth of ZnO films on a-plane sapphire substrates using high-temperature H2O generated from a catalytic reaction

利用催化反应产生的高温 H2O 在 a 面蓝宝石衬底上外延生长 ZnO 薄膜

• 发表时间: 2014
• 作者: 丹下 直之;大塚 洋一;高木 大敬;西嶋 知史;松本 卓也;Kanji Yasui
• 通讯作者: Kanji Yasui

Electrical properties of zinc oxide thin films deposited using high-energy H2O generated from a catalytic reaction on platinum nanoparticles

使用铂纳米颗粒催化反应产生的高能 H2O 沉积的氧化锌薄膜的电性能

• DOI: 10.1557/opl.2013.240
• 发表时间: 2013
• 期刊: MRS Symposium Proceedings
• 作者: Kanji Yasui;Naoya Yamaguchi;Eichi Nagatomi;Souichi Satomoto;Takahiro Kato
• 通讯作者: Takahiro Kato