Super Clean Non-Contact Conveying System Utilizing Electrostatic Force
利用静电力的超洁净非接触式输送系统
基本信息
- 批准号:10555078
- 负责人:
- 金额:$ 8.45万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份:1998
- 资助国家:日本
- 起止时间:1998 至 1999
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
To reduce the contamination of product surfaces by duet particle in manufacturing process of Liquid Crystal Display (LCD) or semiconductors, the development of non-contact conveying system for glass plate or silicon wafer is essentia1. Furthermore, in proportion to the large-sizing tendency of LCD, the conventional transportation system utilizing vacuum chuck fixing on the end-effecter of robot arm gives a pretty deflection on the glass base-plate. Because of the two reasons mentioned above, the development of a new conveying system for thin glass plate is required.In this research, an electrostatic suspension chuck for thin plate has been successfully developed. For the purpose to levitate a thin plate, which should be considered as a flexible object, the operating force on each small area of the thin plate during levitation has to be controlled. The electrode employed for generating electrostatic levitation force was divided to pieces, and the applied voltage to each electrode unit w … More as controlled based on the output of the corresponding gap sensor. A prototype mechanism was confirmed to levitate a thin aluminum plate of 278mm x 78mm x 0.05mm in size, with a gap of around 0.5mm steadily beneath the electrode plate. The vertical vibration amplitude was about ±5μm, which was the resolution of the gap sensor. Another prototype mechanism wag also constructed to levitate a soda-lime glass plate of 385hm x 130mm x 0.7mm in size. Despite of the glass's high surface resistivity, which would deteriorate the stability of levitation, we succeeded in the levitation of the mentioned glass plate.In this research, we also successfully developed a new non-contact conveying system for thin glass plate, utilizing combination of air bearing and electrostatic propelling. An appropriate structure for electrode was proposed, and its effectiveness was confirmed through the force measuring and conveying experiment. A soda-lime glass plate of 52mm x 52mm x 0.7mm in size wag conveyed at a speed of 150mm/s with a lateral vibration less than ±0.5mm, when the gap width was 130μm. Less
为了减少液晶显示器制造过程(LCD)或半导体制造过程中二重奏粒子对产品表面的污染,对于玻璃板或硅摇动的非接触式输送系统的开发至关重要。此外,与LCD的大型趋势成比例,使用真空固定在机器人臂的最终效果上的常规运输系统可以在玻璃底板上偏转。由于上面提到的两个原因,需要开发用于薄玻璃板的新输送系统。在这项研究中,已成功开发了用于薄板的静电悬架Chuck。为了悬浮一个薄板(应将其视为柔性物体),必须控制薄板的每个小区域上的工作力量。将电极用于生成静电悬浮力的零件,并根据相应的间隙传感器的输出进行控制,将施加到每个电极单位W的施加电压。确认了一种原型机制,可以将278mm x 78mm x 0.05毫米的薄铝板悬浮,并在电极板下方的间隙约为0.5mm。垂直振动放大器约为±5μm,这是间隙传感器的分辨率。另一种原型机构也构建了悬浮的苏打石灰玻璃板385小时x 130mm x 0.7mm的尺寸。尽管玻璃具有高表面耐药性,这将决定悬浮的稳定性,但我们还是成功地悬浮了上述玻璃板。在这项研究中,我们还成功地开发了一种用于薄玻璃板的新的非接触式输送系统,利用空气轴承和静电推动的结合。提出了适当的电极结构,并通过测量和输送实验确认了其有效性。当间隙宽度为130μm时,以150mm/s的速度以150mm/s的速度输送的52mm x 52mm x 0.7mm的苏打石玻璃板以150mm/s的速度输送,横向振动小于±0.5mm。较少的
项目成果
期刊论文数量(22)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
傅 寶莱: "静電気吸引力を用いた薄いガラス板の非接触ハンドリング装置"第11回「電磁力関連のダイナミックス」シンポジウム講演論文集. 240-245 (1999)
付保来:“利用静电引力的薄玻璃板非接触式处理装置”第11届“与电磁力有关的动力学”研讨会论文集240-245(1999)。
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傅 寶莱: "薄板ガラスの空気圧浮上静電気力直進駆動システム"1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 559 (1998)
保来福:《薄板玻璃的气动悬浮静电力线性驱动系统》1998年日本精密工程学会秋季会议学术会议论文集559(1998)。
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岡 宏一: "柔軟物を静電気浮上させる時の一考察 -2次元での解析-"Dynamics and Design Conference '99 講演論文集. Vol.B. 83-84 (1999)
Koichi Oka:“柔性物体静电悬浮的研究 - 二维分析”动力学与设计会议 99 论文集 83-84(1999)。
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- 作者:
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Poh Fow Lai: "Non-Contact Handling System for Thin Plate Using Electrostatic Force" Proceedings of the 9th International Conference on Production Engineering. (1999)
Poh Fow Lai:“利用静电力的薄板非接触式处理系统”第九届国际生产工程会议论文集。
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岡 宏一: "柔軟物を静電気時浮上させる時の-考察 -2次元での解析-"Dynamic and Design Conference′99 講演論文集. Vol.B. 83-84 (1999)
Koichi Oka:“关于在静电作用下悬浮柔性物体的考虑 - 二维分析”动态与设计会议99 卷 83-84(1999)。
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