内殻励起に起因する表面分子脱離機構の研究

核激发引起的表面分子脱附机理研究

• 批准号: 05740211
• 负责人: 間瀬 一彦
• 金额: $ 0.64万
• 依托单位: Okazaki National Research Institutes
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1993
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1993 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-05740211/
• 关键词: 表面物性; 内殻励起; 反応動力学; 放射光; 光刺激脱離

内殻励起に起因する表面分子脱離機構の研究は、(1)基礎科学的な研究対象として重要であるにもかかわらず、これまで研究がほとんど進んでいない、(2)特定原子の内殻励起に起因する選択的表面化学反応の研究など、新しい基礎研究分野の開拓に貢献する、(3)表面エッチング、光表面ディポジションなどの応用研究への波及効果も大きい、などの点で将来性の大きい重要な研究分野である。本研究では、表面分子脱離機構を研究するために、軌道放射光を試料表面に照射して、放出電子をエネルギー選別して測定するとともに脱離したイオンを検出する手法(電子・イオン同時測定法)の開発を行なった。本装置は超高真空槽、試料作製装置、低速電子回折装置、励起光導入ポート、電子銃、円筒鏡面型電子エネルギー分析装置、飛行時間型イオン質量分析器から構成される。超高真空槽はターボ分子ポンプとゲッターポンプで排気し、到達真空度は1×10^<-10>Torrである。超高真空内で試料を作製したのち、励起光を照射し、表面放出電子のエネルギーを分析する。このとき同時に生成するイオンを飛行時間型質量分析器で検出して、表面吸着分子のどのような電子励起状態からどのような表面脱離イオンが生じるかについて詳細な実験を行なうことを計画している。励起光源としては、分子科学研究所の軌道放射光施設(UVSOR)を利用する予定である。現在、装置の部品が揃った段階であり、今後は、測定用エレクトロニクスを整備して、装置の動作テストおよび実験を行なう予定である。本科研費補助金の設備備品費と消耗品費は電源等の購入にあてた。また、旅費は本研究推進のための情報収集のための出張費として活用し、謝金は研究補助のためのアルバイト料として使用した。

尽管其重要的科学研究，但对内壳激发引起的表面分子的研究很少，但是到目前为止，（2）特定原子的内壳。 （3）在刺激引起的选择性表面化学反应上，它对诸如表面蚀刻和光学表面沉积物等应用研究具有很大的连锁反应。在这项研究中，为了研究表面分子细分机制，辐射样品表面上的轨道辐射光的方法，对释放电子进行排序，测量和检测已取走的离子（电气和离子同时测量）。法律是制定的。该设备由一个超高空储罐，样品制造设备，低速电子衍射设备，激发灯引言端口，电子枪，圆柱镜像电子能量分析和飞行时间 - 时间 - 离子质量谱。超高的真空水箱用涡轮分子泵和getter泵耗尽，真空为1x1 <-0> Torr。在超高真空中产生样品后，分析了表面释放电子的能量。目前，我们计划使用飞行时间类型分析仪同时检测产生的离子，并进行详细的实验，以了解会发生什么样的电子激发状态。作为激发光源，分子科学研究学院将使用轨道辐射光学设施（UVSOR）。当前，设备的部分可用，将来我们计划执行设备的操作以及测试和实验。该工作室成本补贴的设备成本和消耗品成本用于购买电力。此外，旅行费用被用作收集本研究信息的旅行费用，并将奖励用作研究援助的一部分工作。