Supplement:Dynamics of R.F. Discharges for Materials Etching

补充:R.F.的动力学

基本信息

  • 批准号:
    8517363
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 25.99万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    美国
  • 项目类别:
    Continuing Grant
  • 财政年份:
    1986
  • 资助国家:
    美国
  • 起止时间:
    1986-05-15 至 1989-10-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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专利数量(0)

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  • 通讯作者:
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  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 25.99万
  • 项目类别:
    Standard Grant
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