无掩模SPP波导干涉光刻研究

结题报告
项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    60676024
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    30.0万
  • 负责人：
    杜惊雷
  • 依托单位：
    四川大学
  • 学科分类：
    F0406.集成电路器件、制造与封装
  • 结题年份：
    2009
  • 批准年份：
    2006
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2007-01-01 至2009-12-31

项目摘要

提出利用全反射激发金属薄膜产生SPP实现近场光增强的多光束耦合波导干涉光刻新方法- - SPP波导干涉光刻术。该技术集中了常规干涉光刻、SPP接触光刻方法的固有优势，克服了普通干涉光刻分辨率难以突破1/4照明波长的局限和一般SPP接触光刻需加工掩模、不能大面积曝光、加工过程中光刻图形的结构无法更改等致命缺点。通过新的波导结构和耦合、调控技术的引入，使SPP干涉光刻不仅曝光速度快、分辨率高，且具有了无掩模、可大曝光面积、能满足不同线条特征尺寸和周期的加工需求等特色。SPP波导干涉光刻新方法不仅可用于常规的微电子、微光学器件加工，还可应用于传统光刻和分子自组装等技术难以适用的一些纳米加工范围；切实满足微纳光、电子学领域纳米结构制作高精度、高效率、低成本加工等诸多特殊要求，特别是可为光子晶体器件提供了一条方便、理想的加工途径，有良好实用前景；对集成光、电子学和表面等离子光学的发展有重要促进意义。

结项摘要

项目成果

期刊论文数量（24）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（1）
大面积拼接光栅的远场衍射分析
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    光子学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    马延琴;陈铭勇;杜惊雷
  • 通讯作者：
    杜惊雷
Near-Field Optical Transfer Function for Far-Field Super-Resolution Imaging
用于远场超分辨率成像的近场光学传递函数
  • DOI：
    10.1088/0256-307x/26/1/014211
  • 发表时间：
    2009
  • 期刊：
    Chinese Physics Letters
  • 影响因子：
    3.5
  • 作者：
    Luo Xian-Gang;Zhang Zhi-You;Niu Xiao-Yun;Guo Yong-Kang;Li Min;Du Jing-Lei;Du Chun-Lei
  • 通讯作者：
    Du Chun-Lei
多光点扫描数字光刻制作DOE的方法研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    四川大学学报(自然科学版)
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    段茜;杜惊雷;郭小伟;方亮;张志友;王景全
  • 通讯作者：
    王景全
Stimulated Raman scattering mode competition in C6H12 under different pump wavelength
不同泵浦波长下C6H12受激拉曼散射模式竞争
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    物理学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    Du Jing-Lei;Liang Hui-Min;Wei Xiao-Feng;Zhu Qi-Hua;Huang Xiao-Jun;Guo Yi;Zheng Wan-Guo;Yang Jing-Guo;Wang Xiao-Dong;Wang Zhi-Hua;Luo Shi-Rong;Wang Hong-Bo
  • 通讯作者：
    Wang Hong-Bo
菱形金属纳米粒子光学性质的研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    光散射学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    黄鹏;付永启;周崇喜;杜惊雷;罗先刚
  • 通讯作者：
    罗先刚

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其他文献

用于微器件加工的AZ4620厚胶光刻
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    半导体技术.30(7): 34-38, 2005
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    罗铂靓;杜惊雷;唐雄贵;杜春雷
  • 通讯作者：
    杜春雷
用于分数傅里叶域滤波位相元件设
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    光电工程.32(3):54-57, 2005
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    刘建莉;高峰;杜惊雷;罗铂靓
  • 通讯作者：
    罗铂靓
抗蚀剂AZ4562曝光参数的变化趋势
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    固体电子学研究与进展. 26（4）：550-554，2006
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    罗铂靓;杜惊雷;刘世杰;郭小伟
  • 通讯作者：
    郭小伟
提高OLED光导出效率的异形金属光栅的设计与优化
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2010
  • 期刊：
    发光学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    罗跃川;张志友;石莎;杜惊雷
  • 通讯作者：
    杜惊雷
单模共振干涉光刻曝光显影模拟研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2013
  • 期刊：
    光学学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    杨正;张志友;李淑红;高福华;杜惊雷
  • 通讯作者：
    杜惊雷

其他文献

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杜惊雷的其他基金

远场光学超分辨成像术研究
  • 批准号：
    60878031
  • 批准年份：
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    面上项目
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  • 批准号：
    60376021
  • 批准年份：
    2003
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    27.0 万元
  • 项目类别：
    面上项目
部分相干分数域滤波及提高光刻分辨力新方法研究
  • 批准号：
    69907003
  • 批准年份：
    1999
  • 资助金额：
    13.0 万元
  • 项目类别：
    青年科学基金项目

相似国自然基金

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相似海外基金

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AI项目解读示例

课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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