高能量密度等离子体法制备立方氮化硼薄膜
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:59372102
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:9.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0207.无机非金属半导体与信息功能材料
- 结题年份:1996
- 批准年份:1993
- 项目状态:已结题
- 起止时间:1994-01-01 至1996-12-31
- 项目参与者:杨思泽; 张人洁; 李兵; 刘赤子; 闫鹏勋; 鲁伟;
- 关键词:
项目摘要
脉冲高能量密度等离子体制备立方氮化硼薄膜是利用我们实验室的等离子体枪进行立方氮化硼制备的实验研究。等离子体参数为:温度10(5)-10(6)(0)K;密度10(14)-10(16)cm(-3);平均速度10-100km/s;脉冲宽度10-100μs。当脉冲等离子体轟出样品时,可在材料表面产生沉积、注入、泽火等效应。使用50%B2H6+50%N2的混合气体为等离子体源,混合气体被电离后,B,H,N都处子离化态,当沉积于样品表面时,由于等离子体轟出瞬间的高温高压效应,可以在材料表面生成立方氮化硼薄膜。我们在室温低压条件下成功地在单晶硅和GCrB钢上制备了具有立方相比例较大的氮化硼薄膜。红外吸收谱、XRD及TEM分析证明了立方氮化硼的生成。样品表面硬度大大提高。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(6)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Production of C-BN Films and Smface Modification of GCr15 Steel Using HEDP at Room T emp
室温下HEDP制备C-BN薄膜及GCr15钢表面改性
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:Applied Surface Sciencc
- 影响因子:--
- 作者:闫鹏勋;杨思泽
- 通讯作者:杨思泽
室温低压下脉冲等离子体生长立方氮化硼薄膜
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:金属学报
- 影响因子:--
- 作者:闫鹏勋;杨思泽
- 通讯作者:杨思泽
Room Temp Synthesis of C-BN Films by Pulse High Eueigy Density Plasma
脉冲高能量密度等离子体室温合成立方氮化硼薄膜
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:J of Crystal Growth
- 影响因子:--
- 作者:闫鹏勋;杨思泽
- 通讯作者:杨思泽
Pulsed Plasma Deposition c-BN Thin Films on Silicon Substrate
硅基底上的脉冲等离子体沉积 c-BN 薄膜
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:Phys. Stat. Sol.
- 影响因子:--
- 作者:闫鹏勋;杨思泽
- 通讯作者:杨思泽
Pulsed Plama Growth of Cubic and Diamond -likc-BN Fihos at low Presswre and Room Temp
立方晶系和类金刚石-BN Fihos 在低压和室温下的脉冲等离子体生长
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:Phys Stat Sol
- 影响因子:--
- 作者:闫鹏勋;杨思泽
- 通讯作者:杨思泽
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:{{ item.doi || "--"}}
- 发表时间:{{ item.publish_year || "--" }}
- 期刊:{{ item.journal_name }}
- 影响因子:{{ item.factor || "--"}}
- 作者:{{ item.authors }}
- 通讯作者:{{ item.author }}
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ patent.updateTime }}
其他文献
A metal plasma source ion implantaion and depostition(MPSIID)
金属等离子体源离子注入和沉积(MPSIID)
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:System.Rev.Sci.Instrum.
- 影响因子:--
- 作者:刘斌;杨思泽
- 通讯作者:杨思泽
Alumian, aluminium nitride and aluminium compostite coating on 0.45%C steel by using a plasma source ion implantation and depostition system
铝、%20铝%20氮化物%20和%20铝%20复合%20涂层%20on%200.45%C%20钢%20by%20使用%20a%20等离子体%20源%20离子%20注入%20和%20沉积%20系统
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:Thin Solid Film
- 影响因子:--
- 作者:刘斌;杨思泽
- 通讯作者:杨思泽
管状铝质材料的等离子体电解沉积行为研究
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:物理学报
- 影响因子:--
- 作者:陈睨;陈光良;吕国华;顾伟超;冯文然;张谷令;杨思泽
- 通讯作者:杨思泽
Corrosion Resistance and Microstructure of Stainless Steel Modified by Pulsed High Energy Density Plasma
脉冲高能密度等离子体改性不锈钢的耐蚀性和显微组织
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:Journal of Materials science
- 影响因子:4.5
- 作者:韦鲲;杨思泽
- 通讯作者:杨思泽
电源占空比对镁合金等离子体电解氧化陶瓷层腐蚀性能的影响
- DOI:--
- 发表时间:2013
- 期刊:功能材料
- 影响因子:--
- 作者:李立;吕国华;杨思泽
- 通讯作者:杨思泽
其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:{{ item.doi || "--" }}
- 发表时间:{{ item.publish_year || "--"}}
- 期刊:{{ item.journal_name }}
- 影响因子:{{ item.factor || "--" }}
- 作者:{{ item.authors }}
- 通讯作者:{{ item.author }}
内容获取失败,请点击重试
查看分析示例
此项目为已结题,我已根据课题信息分析并撰写以下内容,帮您拓宽课题思路:
AI项目摘要
AI项目思路
AI技术路线图
请为本次AI项目解读的内容对您的实用性打分
非常不实用
非常实用
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
您认为此功能如何分析更能满足您的需求,请填写您的反馈:
杨思泽的其他基金
等离子体-化学催化法对废气同时脱硫脱硝处理的研究
- 批准号:10735090
- 批准年份:2007
- 资助金额:200.0 万元
- 项目类别:重点项目
管件内表面等离子体电解氧化的机理与应用研究
- 批准号:10675165
- 批准年份:2006
- 资助金额:38.0 万元
- 项目类别:面上项目
管件内壁离子注入新技术的机理研究
- 批准号:10275088
- 批准年份:2002
- 资助金额:30.0 万元
- 项目类别:面上项目
等离子体离子注入材料内表面改性和制膜
- 批准号:50071068
- 批准年份:2000
- 资助金额:15.0 万元
- 项目类别:面上项目
HEDP法材料表面金属化及界面研究
- 批准号:59871060
- 批准年份:1998
- 资助金额:13.0 万元
- 项目类别:面上项目
新型等离子体法制备的AlN陶瓷与金属基的结合与界面
- 批准号:59671048
- 批准年份:1996
- 资助金额:12.0 万元
- 项目类别:面上项目
等离子体枪的物理实验研究
- 批准号:19375061
- 批准年份:1993
- 资助金额:7.0 万元
- 项目类别:面上项目
高能量密度等离子体用于材料表面改性研究
- 批准号:58880006
- 批准年份:1988
- 资助金额:5.5 万元
- 项目类别:专项基金项目
高能回旋电子束ECRH捕获的磁镜堆芯的新概念研究
- 批准号:18780111
- 批准年份:1987
- 资助金额:5.0 万元
- 项目类别:专项基金项目
大功率回旋电子束结合微波加热等离子体的研究
- 批准号:18670196
- 批准年份:1986
- 资助金额:2.0 万元
- 项目类别:面上项目
相似国自然基金
{{ item.name }}
- 批准号:{{ item.ratify_no }}
- 批准年份:{{ item.approval_year }}
- 资助金额:{{ item.support_num }}
- 项目类别:{{ item.project_type }}
相似海外基金
{{
item.name }}
{{ item.translate_name }}
- 批准号:{{ item.ratify_no }}
- 财政年份:{{ item.approval_year }}
- 资助金额:{{ item.support_num }}
- 项目类别:{{ item.project_type }}