Excimer laser-deposition system for ceramic thin films
用于陶瓷薄膜的准分子激光沉积系统
基本信息
- 批准号：181046-1995
- 负责人：
- 金额：$ 4.56万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Strategic Grants - Equipment (H)
- 财政年份：1995
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：1995-01-01 至 1996-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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薄膜异质结微系统的物理化学表征、设计和制造：接口、工艺、设备、电路、传感器和执行器
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- 资助金额：
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- 批准号：52305466
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- 批准号：
359426-2008 - 财政年份：2007
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- 批准号：
10044167 - 财政年份：1998
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- 批准号：
9601800 - 财政年份：1996
- 资助金额：
$ 4.56万 - 项目类别：
Standard Grant
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- 批准号：
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- 资助金额：
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