Study of refractory metal reactive sputtering

难熔金属反应溅射的研究

基本信息

  • 批准号:
    163686-1993
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.48万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    加拿大
  • 项目类别:
    Collaborative Research and Development Grants
  • 财政年份:
    1996
  • 资助国家:
    加拿大
  • 起止时间:
    1996-01-01 至 1997-12-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

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项目成果

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Currie, John其他文献

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  • 通讯作者:
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Physico-chemical characterisation, design, and fabrication of thin- film heterojunction micro-systems: interfaces, processes, devices, circuits, sensors and actuators
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  • 批准号:
    3435-1997
  • 财政年份:
    1998
  • 资助金额:
    $ 2.48万
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    3435-1993
  • 财政年份:
    1996
  • 资助金额:
    $ 2.48万
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  • 批准号:
    3435-1993
  • 财政年份:
    1995
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  • 批准号:
    181046-1995
  • 财政年份:
    1995
  • 资助金额:
    $ 2.48万
  • 项目类别:
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    182748-1995
  • 财政年份:
    1995
  • 资助金额:
    $ 2.48万
  • 项目类别:
    Collaborative Research and Development Grants
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  • 批准号:
    149669-1993
  • 财政年份:
    1995
  • 资助金额:
    $ 2.48万
  • 项目类别:
    Strategic Projects - Group
Study of refractory metal reactive sputtering
难熔金属反应溅射的研究
  • 批准号:
    163686-1993
  • 财政年份:
    1995
  • 资助金额:
    $ 2.48万
  • 项目类别:
    Collaborative Research and Development Grants
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  • 批准号:
    149669-1993
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    1994
  • 资助金额:
    $ 2.48万
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  • 批准号:
    163686-1993
  • 财政年份:
    1994
  • 资助金额:
    $ 2.48万
  • 项目类别:
    Collaborative Research and Development Grants

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作者:{{ showInfoDetail.author }}

知道了