3D wafer-scale packaging by multiphase bonding using layered metal films

使用分层金属薄膜进行多相键合的 3D 晶圆级封装

基本信息

  • 批准号:
    25289242
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 11.73万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 财政年份:
    2013
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2013-04-01 至 2016-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
低融点金属薄膜を用いたSi/Cu接合における熱応力
使用低熔点金属薄膜的 Si/Cu 键合中的热应力
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Y. Yamauchi;S. Kobayashi;S. Okano;K. Kuroda;T. Okamoto;T. Sakamoto;萩原幸司;五十嵐健太,黒田健介,興戸正純;松本翼;中甑慶太,岡野 聡,小林千悟,黒田健介,岡本威明;多田羅哲,渡邉佑人,福本信次,松嶋道也,藤本公三
  • 通讯作者:
    多田羅哲,渡邉佑人,福本信次,松嶋道也,藤本公三
Solid-Liquid Diffusion Bonding of Copper using Sn/Ag Multilayered Films
使用 Sn/Ag 多层膜对铜进行固液扩散接合
  • DOI:
  • 发表时间:
    2014
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    S. Fukumoto;K. Miyake;M. Matsushima and K. Fujimoto
  • 通讯作者:
    M. Matsushima and K. Fujimoto
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