Study on high-efficiency polishing technology with the new techniques to control slurry distribution at the polishing area

抛光区浆料分布新技术的高效抛光技术研究

基本信息

批准号：
16K06030
负责人：
Ikeda Hiroshi
金额：
$ 3.08万
依托单位：
Akita National College of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2016
资助国家：
日本
起止时间：
2016-04-01 至 2019-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

電界制御技術を導入した高効率CMP 技術の研磨特性

结合电场控制技术的高效CMP技术的抛光特性

DOI：
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
0
作者：
Youn Sung-Won;Suzuki Kenta;Hiroshima Hiroshi;山口健;池田　洋，久住孝幸，中村竜太，赤上陽一
通讯作者：
池田　洋，久住孝幸，中村竜太，赤上陽一

電界スラリー制御システムを導入したSiウエハの高効率CMP技術

利用电场浆液控制系统的硅片高效CMP技术

DOI：
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
0
作者：
Sung-Won Youn;Kenta Suzuki;and Hiroshi Hiroshima;久住孝幸，池田洋，越後谷正見，中村竜太，赤上陽一;Takeshi Yamaguchi;鈴木健太,倉島優一,尹成圓,高木秀樹,廣島洋,大島清志,小林英樹;大橋儀宗，池田　洋，久住孝幸，越後谷正美，赤上陽一
通讯作者：
大橋儀宗，池田　洋，久住孝幸，越後谷正美，赤上陽一

電界スラリー制御技術における電界条件とSiC 基板の研磨特性との関係

电场浆料控制技术中电场条件与SiC衬底抛光特性的关系

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
尹成圓;鈴木健太;廣島洋;Takeshi Yamaguchi;池田洋，泉泰秀，久住孝幸，赤上陽一
通讯作者：
池田洋，泉泰秀，久住孝幸，赤上陽一

電界ラッピング技術における研磨砥粒挙動の基礎検討

电场研磨技术中磨粒行为的基础研究

DOI：
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
0
作者：
久住孝幸;池田洋;中村竜太;赤上陽一
通讯作者：
赤上陽一

電界スラリー制御技術を適用した高効率CMP技術の開発

应用电场浆料控制技术开发高效CMP技术

DOI：
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
0
作者：
尹成圓;鈴木健太;廣島洋;泉泰秀，池田洋，久住孝幸，中村竜太，赤上陽一
通讯作者：
泉泰秀，池田洋，久住孝幸，中村竜太，赤上陽一

DOI：
{{ item.doi }}
发表时间：
{{ item.publish_year }}
期刊：
{{ item.journal_name }}
影响因子：
{{ item.factor }}
作者：
{{ item.authors }}
通讯作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}

作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}

作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}

作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ patent.updateTime }}

Ikeda Hiroshi其他文献

脊髄損傷ラットにおけるGLP-1受容体作動薬のマクロファージ極性と血液脳脊髄関門への作用の検討

GLP-1受体激动剂对脊髓损伤大鼠巨噬细胞极性和血脑脊髓屏障的影响

DOI：
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
0
作者：
Sadatsuki Ryo;Ishijima Muneaki;Kaneko Haruka;Liu Lizu;Futami Ippei;Hada Shinnosuke;Kinoshita Mayuko;Kubota Mitsuaki;Aoki Takako;Takazawa Yuji;Ikeda Hiroshi;Okada Yasunori;Kaneko Kazuo;小関弘展，松林昌平，尾﨑誠;山口慶子，加藤裕幸，野口俊洋，渡辺雅彦
通讯作者：
山口慶子，加藤裕幸，野口俊洋，渡辺雅彦

3次元音場再生システムへの円筒型スクリーンを用いた360度映像付加ーシステム構築と音像定位の主観評価ー

使用圆柱屏幕将360度视频添加到3D声场再现系统 - 声像定位的系统构建和主观评价 -

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
Iesato Kotoe;Hori Tsukasa;Yoto Yuko;Yamamoto Masaki;Inazawa Natsuko;Kamo Kenichi;Ikeda Hiroshi;Iyama Satoshi;Hatakeyama Naoki;Iguchi Akihiro;Sugita Junichi;Kobayashi Ryoji;Suzuki Nobuhiro;Tsutsumi Hiroyuki;見上純一，渡壁航平，尾本章
通讯作者：
見上純一，渡壁航平，尾本章

Aggregation-induced emission active thermally-activated delayed fluorescence materials possessing N-heterocycle and sulfonyl groups

具有N-杂环和磺酰基的聚集诱导发射活性热激活延迟荧光材料

DOI：
10.1039/d1tc05196b
发表时间：
2022
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
影响因子：
6.4
作者：
Matsui Yasunori;Yokoyama Yudai;Ogaki Takuya;Ishiharaguchi Kenta;Niwa Akitsugu;Ohta Eisuke;Saigo Masaki;Miyata Kiyoshi;Onda Ken;Naito Hiroyoshi;Ikeda Hiroshi
通讯作者：
Ikeda Hiroshi

アントラセンを有する分子ピンセット：相補的相互作用に基づく自己集合環状六量体の構築

蒽分子镊子：基于互补相互作用构建自组装环状六聚体

DOI：
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0
作者：
Matsui Yasunori;Yokoyama Yudai;Ogaki Takuya;Ishiharaguchi Kenta;Niwa Akitsugu;Ohta Eisuke;Saigo Masaki;Miyata Kiyoshi;Onda Ken;Naito Hiroyoshi;Ikeda Hiroshi;Nobuhiro Yanai;澤中祐太・山科雅裕・豊田真司
通讯作者：
澤中祐太・山科雅裕・豊田真司

女子大学生における月経随伴症状と睡眠質の関連性ー女性競技者のコンディショニングへの試験的まとめー

女大学生经旁症状与睡眠质量的关系——女运动员调理实验总结——

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
日本女子体育大学附属基礎体力研究所紀要 Journal of Exercise Science
影响因子：
0
作者：
Wakayama Takanori;Saita Yoshitomo;Kobayashi Yohei;Nishio Hirofumi;Uchino Sayuri;Fukusato Shin;Ikeda Hiroshi;Kaneko Kazuo;澤井朱美，前川真姫，藤田依久子
通讯作者：
澤井朱美，前川真姫，藤田依久子