Development of a Micro Hole Measuring System Using an Optical Fiber Probe

使用光纤探头的微孔测量系统的开发

• 批准号: 19760096
• 负责人: MURAKAMI Hiroshi
• 金额: $ 2.24万
• 依托单位: Kagoshima University (2008-2009)Fukuoka Industrial Technology Center (2007)
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2009
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19760096/
• 关键词: 微小径穴; 深穴; 測定; 光ファイバプローブ; レーザ; 精度; 繰り返し性; 穴; 光ファイバ; ファイバプローブ; フぁイバプローブ

This paper presents a system for measuring micro holes that makes use of an optical fiber probe. The probe is deflected when it comes into contact with a hole surface, and this deflection is measured optically. In this research, its measuring accuracies are examined by using the basic experimental apparatus. Also, the utility of this system is confirmed by measuring the shape of a 100μm diameter micro hole.

本文提出了一种利用光纤探头测量微孔的系统，当探头接触孔表面时会发生偏转，并且在本研究中通过光学方法测量该偏转，并使用它来检查其测量精度。此外，通过测量直径为 100μm 的微孔的形状也证实了该系统的实用性。

项目成果

光ファイバプローブを用いた微小径穴形状精度測定システムの開発(第1報)-光学的解析および精度評価-

使用光纤探针的微径孔形状精度测量系统的开发（第一次报告） - 光学分析和精度评估 -

• 发表时间: 2009
• 作者: 村上洋

光ファイバプローブを用いた微小径穴の形状精度測定技術

光纤探针微径孔形状精度测量技术

• 发表时间: 2010
• 作者: 村上洋; 甲木昭雄; 鬼鞍宏猷; 佐島隆 生; 皮籠石紀雄; 近藤英二
• 通讯作者: 近藤英二

オートコリメーション方式深穴形状精度測定システムの開発 (第2報)-装置の試作および評価実験-

自准直深孔形状精度测量系统的研制（第二次报告）-装置的样机制作及评价实验-

• 发表时间: 2008
• 作者: 村上洋; 甲木昭雄; 鬼鞍宏猷; 佐島隆生
• 通讯作者: 佐島隆生

光ファイバプローブを用いた微小径穴形状精度測定システムの開発-測定の繰り返し性評価-

开发使用光纤探针的微小直径孔形状精度测量系统 -测量重复性的评估-

• 发表时间: 2009
• 作者: 村上洋; 甲木昭雄; 鬼鞍宏猷; 佐島隆 生; 近藤英二
• 通讯作者: 近藤英二

Development of a Measuring System for a Micro Hole : Using an 0 ptical Fiber Probe

微孔测量系统的开发：使用 0 光纤探头

• 发表时间: 2008
• 作者: Hiroshi MURAKAMI; Akio KATSU KI; Hiromichi ONIKURA; Takao SATTMA
• 通讯作者: Takao SATTMA