Process control of magnetic materials for thin film actuator

薄膜致动器磁性材料的过程控制

• 批准号: 24560859
• 负责人: MATSUMURA Yoshihito
• 金额: $ 3.41万
• 依托单位: Tokai University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2012
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2012-04-01 至 2015-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-24560859/
• 关键词: アクチュエータ材料; 薄膜; プラズマ; 過剰エネルギー; イオン衝撃; 内部応力; スパッタリング; イオンプレーティング; 薄膜アクチュエータ; プラズマ計測; 過飽和固溶体; 熱応力; 特性制御; 磁歪材料; スパッタ; 磁性材料

项目成果

Preparation of Supersaturated Fe–In Alloy Thin Films by Ion-Plating Process

过饱和铁的制备

• DOI: 10.2320/matertrans.m2014162
• 发表时间: 2014
• 期刊: MATERIALS TRANSACTIONS
• 影响因子: 1.2
• 作者: Mao Amano; Yumiko Ezaki; Kadek Fendy Sutrisna; Yoshihito Matsumura
• 通讯作者: Yoshihito Matsumura

Internal stress control of Transition Metal Thin Films

过渡金属薄膜的内应力控制

• 发表时间: 2014
• 作者: M. Amano;Y. Ezaki;K.F. Sutrisna;Y. Shinohara;Y.Matsumura;酒井 彰崇,ニヨムワイタヤ チョンラウィット,天野 真央,飯島 貴朗,利根川 昭,松村 義人;田綿 元貴,橋本 真希,豊田 椋一,落合 成行,松村 義人;豊田 椋一,天野 真央,望月 龍馬,飯島 貴朗,利根川 昭,松村 義人;天野 真央,豊田 椋一,松村 義人;天野 真央,ニヨムワイタヤ チョンラウィット,松村 義人;天野 真央,松村 義人;Ryoichi Toyoda,Motoki Tawata,Maki Hashimoto,Yoshihito Matsumura
• 通讯作者: Ryoichi Toyoda,Motoki Tawata,Maki Hashimoto,Yoshihito Matsumura

イオンプレーティング法により作製したアクチュエータ薄膜に対する過剰エネルギーの影響

过剩能量对离子镀法制备致动器薄膜的影响

• 发表时间: 2014
• 期刊: 第26回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム(SEAD26)講演論文集
• 作者: Mao Amano; Yumiko Ezaki; Kadek Fendy Sutrisna; Yoshihito Matsumura;天野 真央,ニヨムワイタヤ チョンラウィット,酒井 彰崇,飯島 貴朗,利根川 昭,松村 義人;ニヨムワイタヤ チョンラウィット,酒井 彰崇,天野 真央,江崎 祐美子,松村 義人
• 通讯作者: ニヨムワイタヤ チョンラウィット,酒井 彰崇,天野 真央,江崎 祐美子,松村 義人

薄膜アクチュエータを目的とした過飽和固溶Fe磁歪合金の作製

用于薄膜致动器的过饱和固溶体铁磁致伸缩合金的制备

• 发表时间: 2012
• 期刊: 電磁力関連のダイナミックスシンポジウム講演論文集
• 作者: 天野真央;松村義人;江崎裕美子;SUTRISNA Kadek Fendy
• 通讯作者: SUTRISNA Kadek Fendy

Effects of Excess Energy on Thin Film Actuator Formation by Ion Plating Process

过量能量对离子镀工艺形成薄膜致动器的影响

• 发表时间: 2014
• 期刊: Proc. 14th Int.Conf. on New Actuators (ACTUATOR2014)
• 作者: Mao Amano; Yumiko Ezaki; Kadek Fendy Sutrisna; Yoshihito Matsumura;天野 真央,ニヨムワイタヤ チョンラウィット,酒井 彰崇,飯島 貴朗,利根川 昭,松村 義人;ニヨムワイタヤ チョンラウィット,酒井 彰崇,天野 真央,江崎 祐美子,松村 義人;豊田 椋一,宮田 俊平,橋本 真希,坂野 将太,飯島 貴朗,利根川 昭,松村 義人;Mao Amano,Chonlawich NIYOMUWAITAYA,Akitaka SAKAI,Ryoichi TOYODA,Takaaki IIJIMA,Akira Tonegawa,Yoshihito Matsumura;Chonlawich NIYOMUWAITAYA,Akitaka SAKAI,Mao Amano,Yumiko EZAKI,Ryoichi TOYODA,Takaaki IIJIMA,Akira Tonegawa,Yoshihito Matsumura
• 通讯作者: Chonlawich NIYOMUWAITAYA,Akitaka SAKAI,Mao Amano,Yumiko EZAKI,Ryoichi TOYODA,Takaaki IIJIMA,Akira Tonegawa,Yoshihito Matsumura