Nanofabrication and Strengthening of Silicon Single Crystal by UsingSPM

利用SPM对硅单晶进行纳米加工和强化

• 批准号: 22560124
• 负责人: TAKAGI Makoto
• 金额: $ 2.75万
• 依托单位: Aichi Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22560124/
• 关键词: MEMS; シリコン; ナノ加工; SPM; 機械的性質; シリコン単結晶; ナノスケール加工; MEMS/NEMS; 走査プローブ顕微鏡; 原子間力顕微鏡; 透過型電子顕微鏡; ナノインデンター; 加工硬化; ナノ加工(微細加工); 走査プローブ; ナノインデンテーション; 転位

Change in microstructure and mechanical properties of a Si surface after scanning-scratching tests under a very small loading force in an AFM was investigated by cross-sectional TEM observations and nano-indentation test. Amorphous Si phase and dislocations were generated by scratching, and amorphous Si phase was removed during scanning-scratching. The scratched sub-surface got harder.

通过截面 TEM 观察和纳米压痕测试，研究了 AFM 中极小加载力下的扫描划痕测试后硅表面微观结构和机械性能的变化。通过划痕产生非晶硅相和位错，并且在扫描划痕过程中去除非晶硅相。划伤的次表面变得更硬。

项目成果

CNT探針を用いたSTMによるカーボン材料の高アスペクト比ナノスケール加工

使用 CNT 探针通过 STM 对碳材料进行高纵横比纳米级加工

• 发表时间: 2010
• 作者: 岩見裕介;高木誠;松室昭仁
• 通讯作者: 松室昭仁

High-Aspect-Ratio Nanofabrication of Carbon Materials Using CNT Probe and TEM in-situ Observations of Their Process

使用 CNT 探针进行碳材料的高纵横比纳米加工及其过程的 TEM 原位观察

• 发表时间: 2011
• 期刊: Proc. The 11th euspen International Conference
• 作者: A.Matsumuro;M.Takagi
• 通讯作者: M.Takagi

CNTを用いたSTMによる低抵抗Siのナノ加工と原理の解明

利用碳纳米管通过STM技术纳米制造低电阻硅并阐明其原理

• 发表时间: 2012
• 作者: 神戸健吾;松室昭仁;高木誠;岩田博之
• 通讯作者: 岩田博之

AFM を用いた Si 単結晶のナノトライボロ ジーに及ぼす環境の影響

使用 AFM 观察环境对硅单晶纳米摩擦学的影响

• 发表时间: 2012
• 作者: 櫻井淳平;高木 誠;松室昭仁;岩田博之
• 通讯作者: 岩田博之

真空加熱下における AFM による Si 単結晶のナノ加工

真空加热下 AFM 硅单晶纳米加工

• 发表时间: 2011
• 作者: 若山大輔;高木 誠;松室昭仁;岩田博之
• 通讯作者: 岩田博之