Decrease of Thermal Expansion of Ball Screw Used for Precision Positioning Devices by Peltier Module Cooling

通过珀耳帖模块冷却减少精密定位装置用滚珠丝杠的热膨胀

• 批准号: 22560123
• 负责人: OTSUKA Jiro
• 金额: $ 2.83万
• 依托单位: Shizuoka Institute of Science and Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22560123/
• 关键词: ボールねじ; 位置決め; ペルチェ冷却; 熱変形; 精密位置決め装置; 制御工学; 超精密計測; 熱解析; ペルチェ効果

In order to decrease the thermal expansion of the precision positioning device, so far, many cooling methods have been suggested and some of them have been already applied to the actual positioning system. In this paper, a new method of employing Peltier modules on the basis of feedback to cool the stage as well as the bearing is proposed. A specially-designed experimental system was established for the verification. As a result of a serial of experiments, it was found that the total thermal expansion of the ball screw was within 2 μm.

为了减少精密定位装置的热膨胀，迄今为止，已经提出了多种冷却方法，其中一些已经应用于实际的定位系统中。本文在此基础上提出了一种采用Peltier模块的新方法。提出了一种专门设计的实验系统来冷却平台和轴承。经过一系列实验，发现滚珠丝杠的总热膨胀在2以内。微米。

项目成果

ペルチェモジュールによる精密位置決め装置の冷却効果における数値シミュレーションと実験的検証

采用Peltier模块的精密定位设备冷却效果的数值模拟与实验验证

• 发表时间: 2011
• 作者: 山部昌;瀬戸雅宏;岡田有司;山部昌;種石健一,大塚二郎,十朱寧,越水重臣ほか 4 名
• 通讯作者: 種石健一,大塚二郎,十朱寧,越水重臣ほか 4 名

Peltier Cooling System Design for Narrow Space

适用于狭窄空间的帕尔贴冷却系统设计

• 发表时间: 2010
• 作者: N.Zhu;S.Koshimizu;et.al.
• 通讯作者: et.al.

精密工学の基礎と最先端技術

精密工程基础和尖端技术

• 发表时间: 2010
• 作者: N.Zhu;S.Koshimizu;et.al.;Gao Yu;大塚二郎
• 通讯作者: 大塚二郎

Decrease of Thermal Expansion of Ball Screw Used for Precision Positioning Devices by Peltier Module Cooling Based on Feedback Method

基于反馈法的帕尔贴模块冷却减少精密定位装置用滚珠丝杠的热膨胀

• 发表时间: 2012
• 作者: 田中翔大,瀬戸雅宏;山部 昌;大塚二郎;Kenichi Taneishi
• 通讯作者: Kenichi Taneishi

ペルチェモジュールによりモータ冷却する精密位置決め装置の熱変形ドリフトの低減

使用珀耳帖模块减少用于冷却电机的精密定位设备中的热变形漂移

• 发表时间: 2011
• 作者: 大塚二郎;ほか7名;大塚二郎,十朱寧,越水重臣ほか4名
• 通讯作者: 大塚二郎,十朱寧,越水重臣ほか4名