Elucidation of Molecular Dynamicsand Reaction Mechanism of ResistMaterials for the Control of Nanosize-roughness
阐明用于控制纳米尺寸粗糙度的抗蚀剂材料的分子动力学和反应机制
基本信息
- 批准号：19710095
- 负责人：
- 金额：$ 1.77万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- 财政年份：2007
- 资助国家：日本
- 起止时间：2007 至 2008
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
半導体加工用に用いられている化学増幅型レジストは、露光源の発展に伴いその最小加工寸法が縮小している。将来の更なる加工寸法の縮小に向けて、放射線を露光源とすることが想定されているが、極微細加工用レジスト材料におけるゆらぎ(ラフネス)の低減は深刻な問題となっている。ラフネスをナノサイズに低減するために、レジスト中にイオン化後生成する、中間活性種の分子レベルのダイナミクスと反応機構を明らかにすることを目的とした。
随着曝光源的发展，用于半导体加工的化学放大抗蚀剂的最小加工尺寸已经减小。未来为了进一步减小加工尺寸，预计将使用辐射作为曝光源，但减少超精细加工的抗蚀剂材料的波动（粗糙度）已成为一个严重的问题。本研究的目的是阐明电离后抗蚀剂中产生的中间活性物质的分子级动力学和反应机制，以将粗糙度降低到纳米级水平。
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Dynamics of PHS Radical Cation
PHS自由基阳离子动力学
- DOI：
- 发表时间：2008
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Kasumasa Okamoto;Takahiro Kozawa;Seiichi Tagawa
- 通讯作者：Seiichi Tagawa
Pulse radiolysis of polystyrene and derivatives
聚苯乙烯及其衍生物的脉冲辐射分解
- DOI：
- 发表时间：2007
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：K. Okamoto;M. Tanaka;T. Kozawa;S. Seki;S. Tagawa
- 通讯作者：S. Tagawa
Study on dynamics of radical ions of polystyrenes by pulse radiolysis
脉冲辐解聚苯乙烯自由基离子动力学研究
- DOI：
- 发表时间：2007
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：K. Okamoto;M. Tanaka;S. Seki;T. Kozawa;S. Tagawa
- 通讯作者：S. Tagawa
Dynamics of Radical Cations of Resist Model Compounds
抗蚀剂模型化合物的自由基阳离子动力学
- DOI：
- 发表时间：2008
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：K. Okamoto;M. Tanaka;T. Kozawa;S. Tagawa
- 通讯作者：S. Tagawa
Formation of Intramolecular Poly(4-hydroxystyrene) Dimer Radical Cation
分子内聚(4-羟基苯乙烯)二聚体自由基阳离子的形成
- DOI：
- 发表时间：2008
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：K. Okamoto;T. Kozawa;K. Natsuda;S. Seki;and S. Tagawa
- 通讯作者：and S. Tagawa
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