Elucidation of local ionization in ultra-thin polymer films and its application

超薄膜聚合物局部电离的阐明及其应用

• 批准号: 24561037
• 负责人: OKAMOTO Kazumasa
• 金额: $ 3.16万
• 依托单位: Hokkaido University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2012
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2012-04-01 至 2015-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-24561037/
• 关键词: レジスト; 放射線化学; 極端紫外線（ＥＵＶ）; 自由電子レーザー; パルスラジオリシス; 電子線; ラジカルカチオン; 脱プロトン反応; フッ素系高分子; 放射線、X線、粒子線; 放射線、Ｘ線、粒子線

项目成果

ポリ(4-ヒドロキシスチレン)(PHS)濃厚溶液の脱プロトン反応の粘度効果

浓聚（4-羟基苯乙烯）（PHS）溶液去质子化反应的粘度效应

• 发表时间: 2013
• 作者: 石田拓也;岡本一将;山本洋揮;古澤孝弘;藤吉亮子;住吉 孝
• 通讯作者: 住吉 孝

レジストモデル高分子のパルスラジオリシス

抗蚀剂模型聚合物的脉冲辐射分解

• 作者: 岡本一将，古澤孝弘，田川精一;藤吉亮子;住吉 孝
• 通讯作者: 住吉 孝

化学増幅レジストモデルのパルスラジオリシス

化学放大抗蚀剂模型的脉冲辐射分解

• 发表时间: 2013
• 作者: 岡本一将;山本洋揮;古澤孝弘;藤吉亮子;住吉 孝
• 通讯作者: 住吉 孝

パルスラジオリシスによるポリヒドロキシスチレン固体中での 脱プロトン化反応に関する研究

脉冲辐解聚羟基苯乙烯固体去质子反应研究

• 作者: 山本洋揮;岡本一将;古澤孝弘
• 通讯作者: 古澤孝弘

Pulse Radiolysis Study of Polystyrene-based Polymers with Adding Photoacid Generators (PAGs): Molecular Dynamics of Extreme-ultraviolet and Electron Beam Resist

添加光酸发生器 (PAG) 的聚苯乙烯基聚合物的脉冲辐解研究：极紫外和电子束抗蚀剂的分子动力学

• 发表时间: 2013
• 作者: K. Okamoto;K. Tominaga;T. Hori;H. Yamamoto;T. Kozawa;R. Fujiyoshi;and T. Sumiyoshi
• 通讯作者: and T. Sumiyoshi