Elucidation of deprotonation induced mechanism in nano-and microfabrication process using ionizing radiations and its applications

阐明电离辐射纳米和微加工过程中去质子化诱导机制及其应用

基本信息

批准号：
19K05330
负责人：
Okamoto Kazumasa
金额：
$ 2.58万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2019
资助国家：
日本
起止时间：
2019-04-01 至 2022-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（11）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

大阪大学産業科学研究所古澤研究室

大阪大学产业科学研究所古泽实验室

DOI：
发表时间：
期刊：
影响因子：
0
作者：
通讯作者：

大阪大学産業科学研究所　量子ビーム物質科学研究分野　ホームページ

大阪大学科学产业研究所量子束材料科学研究部主页

DOI：
发表时间：
期刊：
影响因子：
0
作者：
通讯作者：

Dependence of dose rate on the sensitivity of the resist under ultra-high flux extreme ultraviolet (EUV) pulse irradiation

超高通量极紫外 (EUV) 脉冲照射下剂量率对光刻胶灵敏度的依赖性

DOI：
10.35848/1882-0786/abfca3
发表时间：
2021
期刊：
Applied Physics Express
影响因子：
2.3
作者：
Okamoto Kazumasa;Kawai Shunpei;Ikari Yuta;Hori Shigeo;Konda Akihiro;Ueno Koki;Arai Yohei;Ishino Masahiko;Thanhhung Dinh;Nishikino Masaharu;Kon Akira;Owada Shigeki;Inubushi Yuichi;Kinoshita Hiroo;Kozawa Takahiro
通讯作者：
Kozawa Takahiro

Sensitivity enhancement of chemically amplified EUV resist by adding diphenyl sulfone derivatives

添加二苯砜衍生物提高化学放大型 EUV 光刻胶的灵敏度

DOI：
10.1117/12.2551865
发表时间：
2020
期刊：
Proc. SPIE, Advances in Patterning Materials and Processes XXXVII
影响因子：
0
作者：
Okamoto Kazumasa;Kawai Shunpei;Kozawa Takahiro
通讯作者：
Kozawa Takahiro

ジフェニルスルホン酸生成促進剤による化学増幅型レジストの感度向上

使用二苯磺酸生产促进剂提高化学放大抗蚀剂的灵敏度

DOI：
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
0
作者：
河合俊平;大沼正人;岡本一将;古澤孝弘
通讯作者：
古澤孝弘

DOI：
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作者：
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Okamoto Kazumasa其他文献

Heating effect of the radiation chemistry of polyhydroxystyrene-type chemically amplified resists

聚羟基苯乙烯型化学放大型光刻胶的辐射化学热效应

DOI：
10.35848/1347-4065/aba7d7
发表时间：
2020
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics
影响因子：
1.5
作者：
Ikari Yuta;Okamoto Kazumasa;Konda Akihiro;Kozawa Takahiro;Tamura Takao
通讯作者：
Tamura Takao

デュアルコム分光のための近赤外光周波数コムの可視化

用于双梳光谱的近红外光学频率梳的可视化

DOI：
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
0
作者：
Kudo Hiroto;Fukunaga Mari;Yamada Teppei;Yamakawa Shinji;Watanabe Takeo;Yamamoto Hiroki;Okamoto Kazumasa;Kozawa Takahiro;加藤英毅，池田孝介，佐藤航己，郷治侑真，大久保章，稲場肇，吉井一倫，洪鋒雷
通讯作者：
加藤英毅，池田孝介，佐藤航己，郷治侑真，大久保章，稲場肇，吉井一倫，洪鋒雷

衛星測位における建築物の地震時応答変位観測に関する基礎研究

卫星定位建筑物地震响应位移观测基础研究

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
Murakami Shuntaro;Zhang Lihua;Jeem Melbert;Okamoto Kazumasa;Nakagawa Yuki;Shibayama Tamaki;Ohnuma Masato;Watanabe Seiichi;田嶋一之・向井智久・毎田悠承・南部禎士・鹿嶋俊英
通讯作者：
田嶋一之・向井智久・毎田悠承・南部禎士・鹿嶋俊英

摂食シグナルを受容する胆汁酸受容体TGR5

接收进食信号的胆汁酸受体 TGR5

DOI：
发表时间：
2020
期刊：
実験医学
影响因子：
0
作者：
Murakami Yoshiyuki;Ishiwari Fumitaka;Okamoto Kazumasa;Kozawa Takahiro;Saeki Akinori;佐藤隆一郎
通讯作者：
佐藤隆一郎

気象衛星ひまわり8号を用いた天文学観測研究

利用气象卫星向日葵八号进行天文观测研究

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
Murakami Shuntaro;Zhang Lihua;Jeem Melbert;Okamoto Kazumasa;Nakagawa Yuki;Shibayama Tamaki;Ohnuma Masato;Watanabe Seiichi;谷口大輔
通讯作者：
谷口大輔