Dynamics of radical ions of fluorinated polymer for Extreme Ultraviolet (EUV) lithography
用于极紫外 (EUV) 光刻的氟化聚合物自由基离子动力学
基本信息
- 批准号：25630424
- 负责人：
- 金额：$ 2.16万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
- 财政年份：2013
- 资助国家：日本
- 起止时间：2013-04-01 至 2016-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（27）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Deprotonation mechanism of ionized poly(4-hydroxystyrene)
电离聚(4-羟基苯乙烯)的去质子化机理
- DOI：10.1117/12.2045881
- 发表时间：2014
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Toshihiko Susa;Kazumasa Okamoto ;Takuya Ishida ;Hiroki Yamamoto ;Takahiro Kozawa ;Ryoko Fujiyoshi;and Kikuo Umegaki
- 通讯作者：and Kikuo Umegaki
Pulse radiolysis in concentrated poly(4-hydroxystyrene) solution: Acid generation dynamics in EUV and electron-beam chemically amplified resist
浓聚（4-羟基苯乙烯）溶液中的脉冲辐射分解：EUV 和电子束化学放大抗蚀剂中的酸生成动力学
- DOI：
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：K. Okamoto;T. Ishida;H. Yamamoto;T. Kozawa;R. Fujiyoshi;K. Umegaki
- 通讯作者：K. Umegaki
ポリ(4-ヒドロキシスチレン)(PHS)濃厚溶液の脱プロトン反応の粘度効果
浓聚（4-羟基苯乙烯）（PHS）溶液去质子化反应的粘度效应
- DOI：
- 发表时间：2013
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：石田拓也;岡本一将;山本洋揮;古澤孝弘;藤吉亮子;住吉 孝
- 通讯作者：住吉 孝
Dynamics of radical ions of fluorinated polymer for Extreme Ultraviolet (EUV) lithography
用于极紫外 (EUV) 光刻的氟化聚合物自由基离子动力学
- DOI：10.1117/12.2193060
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：N. Nomura;K. Okamoto;H. Yamamoto;T. Kozawa;R. Fujiyoshi;K. Umegaki
- 通讯作者：K. Umegaki
Pulse Radiolysis Study of Polystyrene-based Polymers with Adding Photoacid Generators (PAGs): Molecular Dynamics of Extreme-ultraviolet and Electron Beam Resist
添加光酸发生器 (PAG) 的聚苯乙烯基聚合物的脉冲辐解研究：极紫外和电子束抗蚀剂的分子动力学
- DOI：
- 发表时间：2013
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：K. Okamoto;K. Tominaga;T. Hori;H. Yamamoto;T. Kozawa;R. Fujiyoshi;and T. Sumiyoshi
- 通讯作者：and T. Sumiyoshi
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