反応性プラズマの制御

反应等离子体的控制

基本信息

批准号：
62307013
负责人：
板谷良平
金额：
--
依托单位：
Kyoto University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Co-operative Research (B)
财政年份：
1987
资助国家：
日本
起止时间：
1987 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-62307013/
关键词：
プロセシングプラズマプラズマプロセスプラズマの制御

项目摘要

本研究は, 物質科学の加工技術の基礎を成すプロセシングプラズマを意のままに制御する方策を探求し, これを体系化することを目的とした, 昭和63年度発足の重点領域研究として予定されている「反応性プラズマの制御」の, 具体的な研究計画立案のための準備を目的としたものである. 従って, 研究の実施経過は次の通りである.第一回の計画立案のための会議を10月4日に東京で開催し, 昭和63年度から3か年間の研究計画を討議した. 即ち, 5つの計画研究班の10の計画研究のそれぞれについて, 内容の検討を行ない, 研究経費の大要を定めた.第2回の会議は総括班会議として, 10月21日, 東京で開催した. ここでは, これ迄の経過の報告と本重点領域研究の包含範囲, 並びに運営方法についての基本に関する総括的討議を行ない計画研究の内容について検討した.第3回は昭和63年1月5日, 京都に於いて班長会議を開き, 各研究班の公募研究を含めた研究方針を討議すると共に, 公募研究の研究課題の採択に係わる審査基準について討議した.第4回として, 1月28日より30日迄, 藤沢市に於いてプロセシングプラズマ研究会を開催し, 反応性プラズマの制御に関するこの1年間の研究の進捗状況の把握に務めると共に, 次年度以降の研究発表会の在り方を討議した.第5回は, 3月17日, 東京に於いて研究打ち合わせ会を開き, 昭和63年度の研究の方向を定めた. これを受けて, 幹事会を3月19日と22日に京都で開き, 昭和63年度の行事予定の細目を検討した.

这项研究旨在为“反应性等离子体的控制”制定特定的研究计划，该计划定于1988年启动，以探索和系统化处理等离子体，该计划构成了材料科学中处理技术的基础，以制定特定的研究计划。因此，研究的过程如下。第一次计划会议于10月4日在东京举行，从1988年开始进行了三年的研究计划。换句话说，检查了五个计划研究小组的10项计划研究的内容，并建立了研究费用的汇编。第二次会议于10月21日作为一般小组会议在东京举行。在这里，我们将报告到目前为止的进展和焦点区研究的范围，并就管理方法的基础进行了一般讨论，并讨论了计划研究的内容。第三次会议于1988年1月5日在京都举行，包括公开邀请的研究在内的研究政策，讨论了采用研究主题的审查标准。第四次会议于1月28日至30日在藤泽城举行，在1月28日至30日在富士瓦市举行了加工等离子体研究小组，以了解过去一年中对反应性血浆控制的研究进展，以及明年及以后的当前研究表现。第五次会议于3月17日在东京举行，并确定了1988年的研究方向。作为回应，3月19日和22日在京都举行的执行委员会，并研究了计划于1988年举行的活动的细节。