反応性プラズマの制御

反应等离子体的控制

基本信息

批准号：
63632007
负责人：
板谷良平
金额：
$ 2.56万
依托单位：
Kyoto University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1988
资助国家：
日本
起止时间：
1988 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-63632007/
关键词：
プラズマプロセシング反応性プラズマプラズマの制御

项目摘要

本課題は、昭和63年度からスタートした、重点領域研究「反応性プラズマの制御」の総括班として、当領域の研究の方向付けと進展を図るものである。そこで、本年度は初年度として、昭和63年5月初旬に計画研究班の会議を持ち、当初計画の見直しと本年度の実行計画の確認とを行なった。次いで、6月初旬に公募研究班の会議をもち、本領域研究の意図するところを説明し、各公募研究課題について討論し、研究の方向付けを行なった。9月下旬には、次年度の研究費申請を前にして計画研究班の研究進行状況の検討会を開き、それに引き続いて総括班会議を持ち、次年度の研究費申請の基本方針を決定した。この時の研究の進行状況はほぼ予定通りであり、又、計画研究の各班の間の連携もまずは順調であった。特に組織化を必要とするプラズマ内反応素過程、マイクロ波プラズマ生成、ならびに反応性プラズマ内のプローブ測定については、それぞれ12月から1月にかけて、小人数の研究会を持ち、研究の方向、課題の吟味、分担の確認を行なった。又、研究成果が上がりつつある、反応性プラズマのレーザー分光計測、並びにプラズマのモデリングについては、3月中旬に研究会を持ち、成果の検討を行なった。平成元年1月下旬には、今年度の研究成果報告会を第6回プロセシングプラズマ研究会と合同で開いた。まず、各研究代表者がそれぞれの研究の目的と成果について口頭で報告し、次いで、ポスターセッションにて、各研究分担課題毎に詳細な報告を行なった。この報告会には、産業界からも100名を超える参加者があった。これらの成果は第6回プロセシングプラズマ研究会論文集に収録された。この報告会の原稿にその後の成果等を加えて本年度の研究成果報告書とした。また、領域全体の活動状況のPRのため、ニュースレターを2回発行した。

该项目旨在作为 1988 年启动的优先领域研究“反应等离子体的控制”的总委员会，确定该领域的研究方向和进展。因此，今年作为第一年，于1986年5月上旬召开了规划研究组会议，审查了初步规划，确定了今年的实施方案。接下来，6月初，公共研究小组召开会议，解释了本研究领域的目的，讨论了每个公共研究主题，并确定了研究方向。 9月下旬，召开评审会，对下年度科研经费申请提前审查规划课题组的研究进展，随后召开综合管理组会议，确定下年度科研经费申请的基本政策。此时的研究进展几乎是按照计划进行的，计划中的研究小组之间的合作也很顺利。特别是，我们从12月到1月召开了小型研究小组，讨论了等离子体中需要组织的基本反应过程、微波等离子体的生成以及反应等离子体中的探针测量，我们检查了细节并确定了分工。此外，我们在3月中旬召开了一个研究小组，讨论了反应等离子体的激光光谱测量和等离子体建模的研究成果，这些研究成果已经开始出现。 1989年1月下旬，与第六处理等离子体研究组联合召开了今年的研究成果报告会。首先，每位研究代表对各自的研究目的和结果进行了口头报告，然后在墙报环节对每项研究任务进行了详细报告。本次说明会共有100余名业界人士参加。这些结果被收录在第六处理等离子体研究组的会议记录中。今年的研究成果报告是在本次报告会稿件中添加后续成果而形成的。此外，我们还出版了两份时事通讯，以宣传整个地区的活动状况。