反応性プラズマの制御

反应等离子体的控制

基本信息

批准号：
01632008
负责人：
板谷良平
金额：
$ 3.2万
依托单位：
Kyoto University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1989
资助国家：
日本
起止时间：
1989 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-01632008/
关键词：
プラズマプロセシング反応性プラズマプラズマの制御

项目摘要

本課題は昭和63年度からスタートした重点領域研究「反応性プラズマの基礎」の総括班として、当領域の研究の方向付けと促進を図るものである。そこで本年度は、第2年度として平成元年5月初旬に平成元年度第1回の計画研究班会議を開き、昨年度の研究成果の点検と本年度の実行計画の確認とを行なった。ついで、本年度新規公募研究の多い班の方向付けを行なうために、表面反応と計測に関係する研究会をそれぞれ6月中旬と下旬とに開催した。8月下旬に、研究成果中間報告会を京都府下で開催し、計画研究並びに公募研究について進行状況の報告を求め、それに関する討論を行なった。10月上旬に第2回計画研究班会議を開き、計画研究の8月以降の研究の進行状況について報告を聞いた上で、次年度の研究費申請方針について検討し、申請原案を作成した。この原案について総括班会議を開き、次年度の研究費申請の基本方針を決定した。更に、10月末日に開催された重点領域研究の進行状況検討会に提出する資料の作成会を開き、その準備を行なった。平成2年1月23〜24日には今年度の研究成果報告会を第7回プロセシングプラズマ研究会に先立ちこれと合同で開催した。今回は総べてオーラルとし、ポスター方式は採らず、予稿集を用意した。この報告会には、特にPRしなかったにも拘らず、産業界から100名に近い参加者があった。1月26日に第2回総括班会議を開き、今年度の研究成果の評価を行ない、最終年度の方向付けについて議論した。本年度の成果報告書は、昨年度とは異にし、上記の予稿集とは別に英文で作成した。領域全体の活動のPRのためのニュースレターの発行は1回のみとなった。

该主题是焦点区域研究“反应性等离子体的基本原理”的一般小组，该研究始于1988年，旨在指导和促进该领域的研究。因此，今年，作为第二年，1989年的第一次计划研究小组会议于1989年初举行，并检查了去年的结果并确认了实施计划。接下来，为了指导今年拥有许多新研究应用的小组，分别在6月中旬和6月下旬举行了与表面反应和测量有关的研究小组。 8月下旬，研究结果临时报告会议在京都县举行，询问有关计划和公开邀请的研究进展的报告，并就此进行了讨论。第二次计划研究小组会议于10月初举行，在听取了自8月以来计划研究进展的报告后，考虑了第二年的研究基金申请政策，并准备了一份申请草案。关于此草案举行了一般小组会议，并确定了明年申请研究资金的基本政策。此外，举行了一项准备会议，要求将材料提交到10月底举行的主要领域研究小组，并进行了准备。今年的研究结果报告会议于1990年1月23日至24日与第七处理等离子体研究小组共同举行。这次，整个是口头的，并且不使用海报方法，并准备了一系列草稿。尽管没有进行任何特定的促销活动，但该行业仍有近100名参与者。第二次通用小组会议于1月26日举行，评估了今年的研究结果，并讨论了最后一年的方向。与去年不同的是，今年的结果报告是与上述缓刑系列分开编写的。新闻通讯仅是为了促进整个领土的活动而发布的。