Development of Thin Film Radiation Detectors using TiO_2 film by plasma CVD method
等离子体CVD法研制TiO_2薄膜辐射探测器
基本信息
- 批准号:15560267
- 负责人:
- 金额:$ 2.37万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份:2003
- 资助国家:日本
- 起止时间:2003 至 2004
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
The TiO_2 film have been deposited on alumina substrate by the 50Hz plasma-enhanced CVD at 600℃ using TiCl_4+O_2 gas mixture with a substrate bias circuit using two diodes. Substrate bias voltage was -50(V), and the gas mixture ratio (TiO_2/O_2) was 0.05. The refractive index, dielectric constant and optical energy gap were about 2.7, 120 and 3.0, respectively.Thin film Radiation detector was made by TiO_2/alumina structure. TiO_2 on alumina plate (1mm in thickness) was deposited 100(nm) to 1(μm) in thickness by the plasma CVD. It seems that thickness of TiO_2 influence upon detector S/N characters. Detector dark current at TiO_2 thickness 200(nm) of TiO_2/alumina structure by 10(V) applied voltage was few tens pA, 1(μm) thickness TiO_2/alumina was few nA current. Therefore, I think so that the thickness of TiO_2 is better than less about 100(nm). Gold thin film two electrodes were set on TiO_2/alumina structure, and add 1 to 100(V) between two electrodes. The film detector was irradiated γ-ray and X-ray of exposure rate 2〜8(C/kg/min) and 5〜33×10^<-4>(C/kg/min), respectively. Irradiation current of I=5 (pA) to 300(pA) was measured with an electrometer at applied voltage 10(V). The measured irradiation current has linearity against radiation intensity. And detection sensitivity of radiation was about 60(nA/ (C/kg/min)). Accordingly, it appears that the thin film radiation detector of TiO_2/alumina structure can be measuring intensity of γ-ray and X-ray. Moreover, the detector was made possible small size as 5×5×1(mm). Moreover, SiC/alumina structure has lower dark current than that of TiO_2/alumina structure. Therefore, it seems that SiC/alumina structure was good detector in comparison with TiO_2/alumina structure.
TIO_2膜已通过使用TICL_4+O_2气体混合物与底物偏置电路的50Hz等离子体增强CVD在600℃时沉积在氧化铝基板上。底物偏置电压为-50(v),气体混合比(TIO_2/O_2)为0.05。折射率,饮食常数和光学能隙分别约为2.7、120和3.0。薄膜辐射探测器是由TIO_2/氧化铝结构制成的。氧化铝板上的TIO_2(厚度为1mm)通过血浆CVD沉积100(nm)至1(μm)。 TIO_2的厚度似乎对检测器S/N字符的影响。 TIO_2厚度为200(NM)TIO_2/氧化铝结构的检测器暗电流施加的电压很少有pa,1(μm)厚度TIO_2/氧化铝的电压很少。因此,我认为TiO_2的厚度比小于100(nm)的厚度好。金薄膜将两个电子设置在TiO_2/氧化铝结构上,并在两个电子之间加1至100(v)。膜检测器分别被辐照2-8(C/kg/min)和5-33×10^<-4>(C/kg/min)的γ射线和X射线。在施加电压10(v)处用电子测量I = 5(PA)至300(PA)的辐照电流。测得的辐射电流具有抗辐射强度的线性。辐射的检测灵敏度约为60(Na/(c/kg/min))。据此,看来TIO_2/氧化铝结构的薄膜辐射检测器可以测量γ射线和X射线的强度。此外,将检测器的尺寸为5×5×1(mm)。此外,SIC/氧化铝结构的暗电流低于TIO_2/氧化铝结构。因此,与TIO_2/氧化铝结构相比,SIC/氧化铝结构似乎是良好的检测器。
项目成果
期刊论文数量(44)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Date H: "Development of RISA Detectors for Onsite Sensing and Microdocimetry"International Workshop on Radiation Risk and its Origin at Molecular and Cellular Level, JAERI-Conf.. 5.3. 65-75 (2003)
日期 H:“用于现场传感和微剂量测量的 RISA 探测器的开发”国际辐射风险及其分子和细胞水平起源研讨会,JAERI-Conf.. 5.3。
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
Development of TiO_2/Ceramics Radiation Detectors by Plasma CVD
等离子体CVD法研制TiO_2/陶瓷辐射探测器
- DOI:
- 发表时间:2004
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Date H;Takamasa T;Shimozuma M
- 通讯作者:Shimozuma M
Fundamental Study on Designing Radiation Detectors Using Radiation Induced Sure face Activation
利用辐射诱导的 Sure Face 激活设计辐射探测器的基础研究
- DOI:
- 发表时间:2004
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Date H;Takamasa T;Shimozuma M;Sawada T;下妻光夫;下妻光夫;Date H.;Takamasa T
- 通讯作者:Takamasa T
下妻光夫: "TiCl_4+O_2を用いたイオンアシストプラズマCVD法によるTiO_2膜の生成"応用物理学会学術講演会予稿集. 1a-ZG-6. 106-106 (2003)
Mitsuo Shimotsuma:“使用TiCl_4+O_2通过离子辅助等离子体CVD生产TiO_2薄膜”日本应用物理学会学术会议记录1a-ZG-6(2003)。
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
Shimozuma M: "Development of TiO_2/Ceramics Radiation Detectors by Plasma CVD"Proceedings of the 21^<th> Symposium on Plasma Processing. 21. 134-135 (2004)
Shimozuma M:“通过等离子体CVD开发TiO_2/陶瓷辐射探测器”第21届等离子体处理研讨会论文集。
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ patent.updateTime }}
SHIMOZUMA Mitsuo其他文献
SHIMOZUMA Mitsuo的其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
{{ truncateString('SHIMOZUMA Mitsuo', 18)}}的其他基金
Low Temperature Deposition of TiN Diffusion Barrier Metal for Integrated Circuit by Low Frequency Plasma CVD
低频等离子体CVD低温沉积集成电路用TiN扩散势垒金属
- 批准号:
10650298 - 财政年份:1998
- 资助金额:
$ 2.37万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Development of Low Temperature Deposition Process of Carbon Thin Film by Low Frequency 50Hz Plasma CVD.
低频50Hz等离子体CVD碳薄膜低温沉积工艺的开发。
- 批准号:
02555056 - 财政年份:1990
- 资助金额:
$ 2.37万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
Deveiopment of Room Temperature Deposition Process of Silicon Nitride Film by Low Frequency Plasma CVD.
低频等离子体CVD 氮化硅薄膜室温沉积工艺的发展。
- 批准号:
61850049 - 财政年份:1986
- 资助金额:
$ 2.37万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research
Selectively doped heterojunction CCD
选择性掺杂异质结CCD
- 批准号:
59850047 - 财政年份:1984
- 资助金额:
$ 2.37万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research
相似国自然基金
CNTs/ La^3+掺杂TiO_2纳米纤维的制备及对重金属去除机理研究
- 批准号:51403106
- 批准年份:2014
- 资助金额:20.0 万元
- 项目类别:青年科学基金项目
吸附—光催化双功能活性炭吸附材料的C/TiO_2协同作用机制
- 批准号:30400339
- 批准年份:2004
- 资助金额:23.0 万元
- 项目类别:青年科学基金项目
相似海外基金
高効率TiO_2光触媒の開発に向けての時間・空間分解分光法による反応機構の解明
利用时间和空间分辨光谱阐明反应机理,开发高效 TiO_2 光催化剂
- 批准号:
11F01041 - 财政年份:2011
- 资助金额:
$ 2.37万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
Removal of pharmaceuticals in secondary effluent using magnetic particle containing TiO_2-Zeolite composite catalyst under solar light
太阳光下磁性颗粒TiO_2-沸石复合催化剂去除二级出水中的药物
- 批准号:
23656332 - 财政年份:2011
- 资助金额:
$ 2.37万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
Sonodynamic cancer therapy with tumor targeting TiO_2 nanoparticles.
使用肿瘤靶向 TiO_2 纳米颗粒进行声动力癌症治疗。
- 批准号:
22300177 - 财政年份:2010
- 资助金额:
$ 2.37万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
電気化学成膜法による誘電体ナノキューブの3次元集積に関する研究
电化学沉积法介电纳米立方体三维集成研究
- 批准号:
10F00505 - 财政年份:2010
- 资助金额:
$ 2.37万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
TiO2光触媒反応による細胞誘導死の機構の解明と新規分子標的癌治療法開発への展開
阐明TiO2光催化反应诱导细胞死亡的机制并开发新型分子靶向癌症治疗方法
- 批准号:
22500421 - 财政年份:2010
- 资助金额:
$ 2.37万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)