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Development of metal wiring process with low environmental load using high-density hydrogen radicals
利用高密度氢自由基开发环境负荷低的金属配线工艺
基本信息
- 批准号：18K18809
- 负责人：
- 金额：$ 3.99万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
- 财政年份：2018
- 资助国家：日本
- 起止时间：2018-06-29 至 2021-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（11）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
高圧水素プラズマ誘起ナノポーラス化銀表面のプラズモン特性評価
高压氢等离子体诱导的纳米多孔银表面的等离子体激元表征
- DOI：
- 发表时间：2021
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：関戸 拓郎;安東 卓洋;垣内 弘章;安武 潔;大参 宏昌
- 通讯作者：大参 宏昌
Copper dry etching using a high-pressure plasma with non-toxic gas
使用高压等离子体和无毒气体进行铜干法蚀刻
- DOI：
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Hiromasa Ohmi，Yoshiki Shirasu;Hiroaki Kakiuchi;Kiyoshi Yasutake
- 通讯作者：Kiyoshi Yasutake
Significant Improvement of Copper Dry Etching Property of a High-Pressure Hydrogen-Based Plasma by Nitrogen Gas Addition
添加氮气显着改善高压氢基等离子体的铜干蚀刻性能
- DOI：10.1021/acsomega.8b03163
- 发表时间：2019
- 期刊：
- 影响因子：4.1
- 作者：Hiromasa Ohmi;Jumpei Sato;Yoshiki Shirasu;Tatsuya Hirano;Hiroaki Kakiuchi;and Kiyoshi Yasutake
- 通讯作者：and Kiyoshi Yasutake
高密度水素プラズマ曝露による銀表面のナノポーラス化挙動の観察
通过暴露于高密度氢等离子体观察银表面的纳米孔行为
- DOI：
- 发表时间：2021
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：関戸 拓郎;安東 卓洋;垣内 弘章;安武 潔;大参 宏昌
- 通讯作者：大参 宏昌
水素ベース高圧プラズマを用いた金属の化学加工法の開発
氢基高压等离子体金属化学处理方法的开发
- DOI：
- 发表时间：2019
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Murata Hiromasa;Nozawa Koki;Saitoh Noriyuki;Yoshizawa Noriko;Suemasu Takashi;Toko Kaoru;安東卓洋，白數佳紀，垣内弘章，安武潔，大参宏昌
- 通讯作者：安東卓洋，白數佳紀，垣内弘章，安武潔，大参宏昌
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ patent.updateTime }}
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{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
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nanostructuring on semiconductor surface for optical management by high-pressure hydrogen plasma
半导体表面纳米结构用于高压氢等离子体光学管理
- 批准号：
20H02049 - 财政年份：2020
- 资助金额：
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Creation of ordered porous carbon electrodes with controlled orientation of microscopic graphite domains
创建具有受控微观石墨域方向的有序多孔碳电极
- 批准号：
19K05184 - 财政年份：2019
- 资助金额：
$ 3.99万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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阴离子Ir(i)氧簇团簇的制备及其反应活性
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18K05152 - 财政年份：2018
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26410018 - 财政年份：2014
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$ 3.99万 - 项目类别：
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- 批准号：
17560630 - 财政年份：2005
- 资助金额：
$ 3.99万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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- 批准号：
16205021 - 财政年份：2004
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$ 3.99万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)