Block Copolymers via NMP for Lithography

用于光刻的 NMP 嵌段共聚物

基本信息

批准号：
482636-2015
负责人：
Slaymaker, Amara
金额：
$ 0.33万
依托单位：
McGill University
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
University Undergraduate Student Research Awards
财政年份：
2015
资助国家：
加拿大
起止时间：
2015-01-01 至 2016-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=582887
关键词：
Block Copolymers via NMP Lithography

项目摘要

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