深層学習による分光エリプソメトリー解析の完全自動化技術の開発

使用深度学习开发全自动光谱椭偏分析技术

基本信息

  • 批准号:
    23K03923
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 3万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2023
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2023-04-01 至 2027-03-31
  • 项目状态:
    未结题

项目摘要

项目成果

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会议论文数量(0)
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  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
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  • 通讯作者:
    藤原 裕之
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  • 通讯作者:
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  • 资助金额:
    $ 3万
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