グリーンプラズマエッチングに向けた高アスペクト比孔内の活性種輸送特性の実験的解明
绿色等离子体蚀刻高纵横比孔中活性物质传输特性的实验阐明
基本信息
- 批准号：23K03367
- 负责人：
- 金额：$ 2.91万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2023
- 资助国家：日本
- 起止时间：2023-04-01 至 2026-03-31
- 项目状态：未结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
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会议论文数量（0）
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