Development of Simulator for High Efficient Chemical Mechanical Polishing of Hard-to-Process Materials by Computational Method

利用计算方法开发难加工材料高效化学机械抛光模拟器

基本信息

批准号：
17K06110
负责人：
Ozawa Nobuki
金额：
$ 2.66万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2017
资助国家：
日本
起止时间：
2017-04-01 至 2020-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Computational Analysis of Chemical Mechanical Polishing Process for GaN Substrate with Step Structure

阶梯结构GaN衬底化学机械抛光工艺的计算分析

DOI：
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
0
作者：
Takuya Igarashi; Jingxiang Xu; Yusuke Ootani; Nobuki Ozawa; Momoji Kubo
通讯作者：
Momoji Kubo

Effects of Nanobubble Collapse on Precision Polishing : Molecular Dynamics Study

纳米气泡塌陷对精密抛光的影响：分子动力学研究

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
Yoshimasa Aoyama; Jingxiang Xu; Yusuke Ootani; Nobuki Ozawa; Momoji Kubo
通讯作者：
Momoji Kubo

反応力場分子動力学シミュレーションによる窒化物半導体基板のナノバブルを用いた化学機械研磨プロセスの検討

利用反作用力场分子动力学模拟研究氮化物半导体衬底纳米气泡化学机械抛光工艺

DOI：
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
0
作者：
木村颯太; 宮崎成正; 大谷優介; 尾澤伸樹; 久保百司
通讯作者：
久保百司

Molecular Dynamics Investigation for Chemical Effects of Nanobubble Collapse on Precision Polishing

纳米气泡破裂对精密抛光化学效应的分子动力学研究

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
Yoshimasa Aoyama; Jingxiang Xu; Yusuke Ootani; Nobuki Ozawa; Momoji Kubo
通讯作者：
Momoji Kubo

Effects of Shockwave-Induced Nanobubble Collapse on Precision Polishing : Molecular Dynamics Study

冲击波引起的纳米气泡塌陷对精密抛光的影响：分子动力学研究

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
Yoshimasa Aoyama; Jingxiang Xu; Yusuke Ootani; Nobuki Ozawa; Momoji Kubo
通讯作者：
Momoji Kubo

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Ozawa Nobuki其他文献

Heterogeneous yielding mechanisms of body centered cubic iron for high resistance to chemical reaction-induced deterioration in supercritical water environments: A reactive molecular dynamics study

体心立方铁的异质屈服机制对超临界水环境中化学反应引起的恶化具有高抵抗力：反应分子动力学研究

DOI：
10.1016/j.scriptamat.2021.113997
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
6
作者：
Chen Qian;Zhang Jing;Liu Zhongmin;Wang Yang;Ootani Yusuke;Xu Jingxiang;Ozawa Nobuki;Kubo Momoji
通讯作者：
Kubo Momoji

Molecular-Level Elucidation of a Fracture Process in Slide-Ring Gels via Coarse-Grained Molecular Dynamics Simulations

通过粗粒度分子动力学模拟在分子水平上阐明滑环凝胶的断裂过程

DOI：
10.1021/acs.macromol.1c01981
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
5.5
作者：
Uehara Shuichi;Wang Yang;Ootani Yusuke;Ozawa Nobuki;Kubo Momoji
通讯作者：
Kubo Momoji

Chemical-Reaction-Induced deformation of Body-Centered cubic iron in supercritical water leading to high risk of cleavage Fracture: A reactive Molecular dynamics study

超临界水中体心立方铁的化学反应引起的变形导致解理断裂的高风险：反应性分子动力学研究

DOI：
10.1016/j.commatsci.2022.111354
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
3.3
作者：
Chen Qian;Xu Jingxiang;Su Yixin;Uehara Shuichi;Bai Sh;an;Wang Yang;Ootani Yusuke;Ozawa Nobuki;Kubo Momoji
通讯作者：
Kubo Momoji

Heterogeneous yielding mechanisms of body centered cubic iron for high resistance to chemical reaction-induced deterioration in supercritical water environments: A reactive molecular dynamics study

体心立方铁的异质屈服机制对超临界水环境中化学反应引起的恶化具有高抵抗力：反应分子动力学研究

DOI：
10.1016/j.scriptamat.2021.113997
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
6
作者：
Chen Qian;Zhang Jing;Liu Zhongmin;Wang Yang;Ootani Yusuke;Xu Jingxiang;Ozawa Nobuki;Kubo Momoji
通讯作者：
Kubo Momoji

Coarse-grained Molecular Dynamics Simulation of the Wear Mechanism of Cyclic Polymer Brushes

环状聚合物电刷磨损机理的粗粒分子动力学模拟

DOI：
10.1246/cl.200323
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
1.6
作者：
Liu Zhongmin;Ootani Yusuke;Uehara Shuichi;Xu Jingxiang;Wang Yang;Miyazaki Narumasa;Higuchi Yuji;Ozawa Nobuki;Kubo Momoji
通讯作者：
Kubo Momoji