Study on the negative-ion generation in atmospheric N2-CF3I gas discharge and its application to the static eliminator for organic materials
大气N2-CF3I气体放电负离子产生及其在有机材料静电消除器中的应用研究
基本信息
- 批准号：16K05628
- 负责人：
- 金额：$ 2.91万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2016
- 资助国家：日本
- 起止时间：2016-10-21 至 2020-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Static Elimination in Vacuum by Plasma Jet
通过等离子喷射在真空中消除静电
- DOI：
- 发表时间：2019
- 期刊：
- 影响因子：4
- 作者：T. Ikehata
- 通讯作者：T. Ikehata
真空中におけるプラズマによる除電 －真空デバイスプロセスへの適用に向けて－
在真空中使用等离子体进行静电中和 - 适用于真空设备工艺 -
- DOI：
- 发表时间：2019
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：池畑隆
- 通讯作者：池畑隆
マグネシウム誘起結晶化(Mg-MIC)による多結晶シリコン薄膜の低温合成 #2
通过镁诱导结晶（Mg-MIC）低温合成多晶硅薄膜2
- DOI：
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：南 亮輔;梨岡岳斗;春山敦史;池畑 隆;佐藤直幸;鵜殿治彦
- 通讯作者：鵜殿治彦
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