Deposition of Ideally-oriented PZT Monocrystalline Thin Film on Si Substrate and Feasibility Study of Its Application to MEMS
Si基片上理想取向PZT单晶薄膜的沉积及其应用于MEMS的可行性研究
基本信息
- 批准号：25286033
- 负责人：
- 金额：$ 12.06万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份：2013
- 资助国家：日本
- 起止时间：2013-04-01 至 2016-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
LARGE FIGURE-OF-MERIT EPITAXIAL PB(MN,NB)O3-PB(ZR,TI)O3/SI TRANSDUCER FOR PIEZOELECTRIC MEMS SENSORS
用于压电 MEMS 传感器的大品质因数外延 PB(MN,NB)O3-PB(ZR,TI)O3/SI 传感器
- DOI：
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Hiroaki Hanzawa;Shinya Yoshida;Kiyotaka Wasa;and Shuji Tanaka
- 通讯作者：and Shuji Tanaka
Epitaxial Growth of (100)/(001) PZT-Based Thin Film on (111) Si Wafer Using SrRuO3/LaNiO3/Pt/CeO2 Buffer Layer
使用 SrRuO3/LaNiO3/Pt/CeO2 缓冲层在 (111) Si 晶圆上外延生长 (100)/(001) PZT 基薄膜
- DOI：
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Takeshi Hayasaka;Shinya Yoshida;Shuji Tanaka
- 通讯作者：Shuji Tanaka
K. Wasa, H. Hanzawa, S. Yoshida, S. Tanaka, H. Adachi, T. Matsunaga, Structure and Ferroelectric Properties of High TcBi(Me)O3-PbTiO3 Single Crystal Thin Films
K. Wasa、H. Hanzawa、S. Yoshida、S. Tanaka、H. Adachi、T. Matsunaga，高 TcBi(Me)O3-PbTiO3 单晶薄膜的结构和铁电性能
- DOI：
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：K. Wasa;H. Hanzawa;S. Yoshida;S. Tanaka;H. Adachi;T. Matsunaga
- 通讯作者：T. Matsunaga
Advanced Piezoelectric Films for MEMS and Acoustic Wave Devices
用于 MEMS 和声波器件的先进压电薄膜
- DOI：
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：S. Tanaka;S. Yoshida;M. Kadota;K. Wasa
- 通讯作者：K. Wasa
圧電MEMSのためのスパッタ堆積による大口径Si基板上へのYSZバッファ層のエピタキシャル成長
压电MEMS用溅射沉积在大直径Si衬底上外延生长YSZ缓冲层
- DOI：
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：西澤信典;吉田慎哉;和佐清孝;田中秀治
- 通讯作者：田中秀治
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Tanaka Shuji其他文献
Development of Piezoelectric Epitaxial Thin Film for High-Performance MEMS
高性能MEMS压电外延薄膜的开发
- DOI：
- 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Qi Xuanmeng;Yoshida Shinya;Tanaka Shuji;吉田 慎哉;吉田 慎哉;Shinya Yoshida - 通讯作者：
Shinya Yoshida
GO-Finder: Registration-Free Wearable System for Assisting Users in Finding Lost Objects via Hand-Held Object Discovery
GO-Finder：免注册可穿戴系统，通过手持物体发现帮助用户寻找丢失的物体
- DOI：
- 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Chen Jianlin;Tsukamoto Takashiro;Tanaka Shuji;八木拓真，西保匠，川崎邦将，松木萌，佐藤洋一 - 通讯作者：
八木拓真，西保匠，川崎邦将，松木萌，佐藤洋一
圧電MEMSのための高性能圧電薄膜の開発
压电MEMS高性能压电薄膜的开发
- DOI：
- 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Qi Xuanmeng;Yoshida Shinya;Tanaka Shuji;吉田 慎哉 - 通讯作者：
吉田 慎哉
エピタキシャル圧電薄膜のSi基板上への成膜と高性能MEMSの創出
在硅衬底上沉积外延压电薄膜并创建高性能MEMS
- DOI：
- 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Qi Xuanmeng;Yoshida Shinya;Tanaka Shuji;吉田 慎哉;吉田 慎哉 - 通讯作者：
吉田 慎哉
Silver nanoparticle enhanced luminescence of [Ru(phen)3]Cl2 for thermal imaging applications
银纳米粒子增强了 [Ru(phen)3]Cl2 的发光，用于热成像应用
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10.1016/j.sna.2021.113312 - 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Pan Xiaoying;Hu Jun;Li Jialiang;Zhai Yufei;Li Song;Wang Min;Tsukamoto Takashiro;Tanaka Shuji - 通讯作者：
Tanaka Shuji
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