Temperature Compensation of Silicon MEMS Resonators by Multiple Doping
通过多重掺杂对硅 MEMS 谐振器进行温度补偿
基本信息
- 批准号：21K18666
- 负责人：
- 金额：$ 4.16万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
- 财政年份：2021
- 资助国家：日本
- 起止时间：2021-07-09 至 2023-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
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Tanaka Shuji其他文献
Development of Piezoelectric Epitaxial Thin Film for High-Performance MEMS
高性能MEMS压电外延薄膜的开发
- DOI：
- 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Qi Xuanmeng;Yoshida Shinya;Tanaka Shuji;吉田 慎哉;吉田 慎哉;Shinya Yoshida - 通讯作者：
Shinya Yoshida
GO-Finder: Registration-Free Wearable System for Assisting Users in Finding Lost Objects via Hand-Held Object Discovery
GO-Finder：免注册可穿戴系统，通过手持物体发现帮助用户寻找丢失的物体
- DOI：
- 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Chen Jianlin;Tsukamoto Takashiro;Tanaka Shuji;八木拓真，西保匠，川崎邦将，松木萌，佐藤洋一 - 通讯作者：
八木拓真，西保匠，川崎邦将，松木萌，佐藤洋一
圧電MEMSのための高性能圧電薄膜の開発
压电MEMS高性能压电薄膜的开发
- DOI：
- 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Qi Xuanmeng;Yoshida Shinya;Tanaka Shuji;吉田 慎哉 - 通讯作者：
吉田 慎哉
エピタキシャル圧電薄膜のSi基板上への成膜と高性能MEMSの創出
在硅衬底上沉积外延压电薄膜并创建高性能MEMS
- DOI：
- 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Qi Xuanmeng;Yoshida Shinya;Tanaka Shuji;吉田 慎哉;吉田 慎哉 - 通讯作者：
吉田 慎哉
Silver nanoparticle enhanced luminescence of [Ru(phen)3]Cl2 for thermal imaging applications
银纳米粒子增强了 [Ru(phen)3]Cl2 的发光，用于热成像应用
- DOI：
10.1016/j.sna.2021.113312 - 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Pan Xiaoying;Hu Jun;Li Jialiang;Zhai Yufei;Li Song;Wang Min;Tsukamoto Takashiro;Tanaka Shuji - 通讯作者：
Tanaka Shuji
Tanaka Shuji的其他文献
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{{ truncateString('Tanaka Shuji', 18)}}的其他基金
Study on On-site Recovery of Integrated Circuit Failed by Gamma Ray Irradiation
伽马射线照射失效集成电路现场修复研究
- 批准号：
18K19040 - 财政年份：2018
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
Stable / Reliable Sensing and Precise Control of Piezoelectric Thin Film Actuators
压电薄膜执行器的稳定/可靠传感和精确控制
- 批准号：
18H01390 - 财政年份：2018
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Readout Technology of MEMS Sensors Installed in High Temperature Environments
高温环境下安装的MEMS传感器的读出技术
- 批准号：
26600056 - 财政年份：2014
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
Deposition of Ideally-oriented PZT Monocrystalline Thin Film on Si Substrate and Feasibility Study of Its Application to MEMS
Si基片上理想取向PZT单晶薄膜的沉积及其应用于MEMS的可行性研究
- 批准号：
25286033 - 财政年份：2013
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
相似国自然基金
金属修饰ZSM-5分子筛上丙烷无氧脱氢的原位理论计算与原位固体核磁共振研究
- 批准号：22372178
- 批准年份：2023
- 资助金额：50 万元
- 项目类别：面上项目
基于深度学习的多模态磁共振成像构建脑胶质瘤TERT启动子突变预测模型研究
- 批准号：82371945
- 批准年份：2023
- 资助金额：48 万元
- 项目类别：面上项目
基于非晶量子点的声子共振设计及相关机理研究
- 批准号：12304059
- 批准年份：2023
- 资助金额：30 万元
- 项目类别：青年科学基金项目
末态相互作用及强子共振态的研究
- 批准号：
- 批准年份：2022
- 资助金额：55 万元
- 项目类别：面上项目
基于局域表面等离激元多极子共振激发的激光超衍射加工三维金属微纳结构技术研究
- 批准号：62275108
- 批准年份：2022
- 资助金额：52 万元
- 项目类别：面上项目
相似海外基金
水晶振動子のトリモーダル共振を用いた単一ナノ粒子の3軸ベクトル電磁気力分光
使用石英晶体振荡器的三峰共振对单个纳米颗粒进行三轴矢量电磁力谱分析
- 批准号：
24K08193 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
共鳴IRスペクトルに対するFranck-Condon因子と振電相互作用の寄与
Franck-Condon 因子和电子振动相互作用对共振红外光谱的贡献
- 批准号：
24K17659 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
光共振器性能が光物質強結合下の光電子物性に及ぼす影響の究明
光材料强耦合下光腔性能对光电性能的影响研究
- 批准号：
24K17742 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
音波と電磁波の共振現象を利用した極性流体における分子クラスター形成の解明
利用声波和电磁波的共振现象阐明极性流体中分子簇的形成
- 批准号：
24K00827 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
高フィネス光共振器を用いた極低温分子研究の新展開
使用高精度光学谐振器进行低温分子研究的新进展
- 批准号：
23K22419 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)