Stable / Reliable Sensing and Precise Control of Piezoelectric Thin Film Actuators
压电薄膜执行器的稳定/可靠传感和精确控制
基本信息
- 批准号：18H01390
- 负责人：
- 金额：$ 11.07万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份：2018
- 资助国家：日本
- 起止时间：2018-04-01 至 2021-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Sputter-Epitaxy of Sm-Doped Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3-PbTiO3 on Si for Creation of Giant-Piezoelectric MEMS Actuator
Si 上溅射外延 Sm 掺杂 Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3-PbTiO3 用于制造巨型压电 MEMS 致动器
- DOI：
- 发表时间：2021
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Xuanmeng Qi;Shinya Yoshida;Shuji Tanaka
- 通讯作者：Shuji Tanaka
良好な絶縁性を有するMEMS用PZT系単結晶薄膜の形成法の探索
寻找一种用于MEMS的具有良好绝缘性能的PZT基单晶薄膜的形成方法
- DOI：
- 发表时间：2019
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：海老原凌;吉田慎哉;田中秀治
- 通讯作者：田中秀治
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ patent.updateTime }}
Tanaka Shuji其他文献
Development of Piezoelectric Epitaxial Thin Film for High-Performance MEMS
高性能MEMS压电外延薄膜的开发
- DOI：
- 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Qi Xuanmeng;Yoshida Shinya;Tanaka Shuji;吉田 慎哉;吉田 慎哉;Shinya Yoshida - 通讯作者：
Shinya Yoshida
GO-Finder: Registration-Free Wearable System for Assisting Users in Finding Lost Objects via Hand-Held Object Discovery
GO-Finder：免注册可穿戴系统，通过手持物体发现帮助用户寻找丢失的物体
- DOI：
- 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Chen Jianlin;Tsukamoto Takashiro;Tanaka Shuji;八木拓真，西保匠，川崎邦将，松木萌，佐藤洋一 - 通讯作者：
八木拓真，西保匠，川崎邦将，松木萌，佐藤洋一
圧電MEMSのための高性能圧電薄膜の開発
压电MEMS高性能压电薄膜的开发
- DOI：
- 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Qi Xuanmeng;Yoshida Shinya;Tanaka Shuji;吉田 慎哉 - 通讯作者：
吉田 慎哉
エピタキシャル圧電薄膜のSi基板上への成膜と高性能MEMSの創出
在硅衬底上沉积外延压电薄膜并创建高性能MEMS
- DOI：
- 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Qi Xuanmeng;Yoshida Shinya;Tanaka Shuji;吉田 慎哉;吉田 慎哉 - 通讯作者：
吉田 慎哉
Silver nanoparticle enhanced luminescence of [Ru(phen)3]Cl2 for thermal imaging applications
银纳米粒子增强了 [Ru(phen)3]Cl2 的发光，用于热成像应用
- DOI：
10.1016/j.sna.2021.113312 - 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Pan Xiaoying;Hu Jun;Li Jialiang;Zhai Yufei;Li Song;Wang Min;Tsukamoto Takashiro;Tanaka Shuji - 通讯作者：
Tanaka Shuji
Tanaka Shuji的其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
{{ truncateString('Tanaka Shuji', 18)}}的其他基金
Temperature Compensation of Silicon MEMS Resonators by Multiple Doping
通过多重掺杂对硅 MEMS 谐振器进行温度补偿
- 批准号：
21K18666 - 财政年份：2021
- 资助金额：
$ 11.07万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
Study on On-site Recovery of Integrated Circuit Failed by Gamma Ray Irradiation
伽马射线照射失效集成电路现场修复研究
- 批准号：
18K19040 - 财政年份：2018
- 资助金额：
$ 11.07万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
Readout Technology of MEMS Sensors Installed in High Temperature Environments
高温环境下安装的MEMS传感器的读出技术
- 批准号：
26600056 - 财政年份：2014
- 资助金额：
$ 11.07万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
Deposition of Ideally-oriented PZT Monocrystalline Thin Film on Si Substrate and Feasibility Study of Its Application to MEMS
Si基片上理想取向PZT单晶薄膜的沉积及其应用于MEMS的可行性研究
- 批准号：
25286033 - 财政年份：2013
- 资助金额：
$ 11.07万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
相似海外基金
Development of Micro Tactile Sensor Chip Including Pressure, Vibration, and Temperature Sensations
开发包括压力、振动和温度传感在内的微型触觉传感器芯片
- 批准号：
19K04290 - 财政年份：2019
- 资助金额：
$ 11.07万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Development of thin-film based PiezoMEMS haptic devices
开发基于薄膜的 PiezoMEMS 触觉设备
- 批准号：
17K06269 - 财政年份：2017
- 资助金额：
$ 11.07万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Orientation control of piezoelectric thin films and their application to functional micro-devices
压电薄膜取向控制及其在功能微器件中的应用
- 批准号：
17H03207 - 财政年份：2017
- 资助金额：
$ 11.07万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Multilayer deposition of PZT thin films and application to MEMS devices
PZT薄膜的多层沉积及其在MEMS器件中的应用
- 批准号：
26420204 - 财政年份：2014
- 资助金额：
$ 11.07万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Deposition of Ideally-oriented PZT Monocrystalline Thin Film on Si Substrate and Feasibility Study of Its Application to MEMS
Si基片上理想取向PZT单晶薄膜的沉积及其应用于MEMS的可行性研究
- 批准号：
25286033 - 财政年份：2013
- 资助金额：
$ 11.07万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)