Processing of wide-bandgap material with intense EUV light

用强 EUV 光加工宽带隙材料

基本信息

  • 批准号:
    17K05727
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.83万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2017
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2017-04-01 至 2020-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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会议论文数量(0)
专利数量(0)
Laser Produced Plasma EUV source for Materials Testing
用于材料测试的激光产生等离子体 EUV 源
  • DOI:
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Nozomi Tanaka;Kosuke Takagaki;and Hiroaki Nishimura
  • 通讯作者:
    and Hiroaki Nishimura
EMPA(スイス)
EMPA(瑞士)
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
EMPA (スイス連邦材料試験研究所)(スイス)
EMPA(瑞士联邦材料测试研究所)(瑞士)
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
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子どもの発達評価は保護者と保育者で異なるか?-子どもの気質・行動,言語発達に着目して
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  • 影响因子:
    0
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    Fujii Katsunori;Tanaka Nozomi;Takeyama Yuki;Ishigaki Tohru;菊地一晴;前田正子;Fujii Katsunori;菊地一晴;前田正子
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间质性肺炎:AI诊断的现状与未来
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  • 发表时间:
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  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
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  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Fujii Katsunori;Tanaka Nozomi;Takeyama Yuki;Ishigaki Tohru;菊地一晴;前田正子;Fujii Katsunori
  • 通讯作者:
    Fujii Katsunori

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    $ 2.83万
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    $ 2.83万
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