Study of plasma properties of EUV material ablation by particle diagnostics
通过粒子诊断研究 EUV 材料烧蚀的等离子体特性
基本信息
- 批准号:25800303
- 负责人:
- 金额:$ 2.66万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- 财政年份:2013
- 资助国家:日本
- 起止时间:2013-04-01 至 2016-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
レーザー駆動EUV光による物質アブレーションにおけるイオン膨張に関する研究
激光驱动 EUV 光烧蚀材料过程中离子膨胀的研究
- DOI:
- 发表时间:2015
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:出口亮;田中のぞみ;増田将也;砂原淳;余語覚文;西村博明
- 通讯作者:西村博明
Spectroscopic observation of ablation plasma generated with a laser-driven extreme light source
激光驱动极端光源产生的烧蚀等离子体的光谱观察
- DOI:10.1007/s00340-015-6041-0
- 发表时间:2015
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:M. Masuda;N. Tanaka;K. Hane;A. Sunahara;S. Fujioka;and H;Nishimura
- 通讯作者:Nishimura
Spectroscopic measurements of ablation plasma generated with laser-driven intense extreme ultraviolet (EUV) light
对激光驱动的强极紫外 (EUV) 光产生的烧蚀等离子体进行光谱测量
- DOI:10.1088/1742-6596/688/1/012122
- 发表时间:2016
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:N. Tanaka;K. Hane;H. Shikata;M. Masuda;K. Nagatomi;A. Sunahara;M. Yoshida;S. Fujioka;and H. Nishimura
- 通讯作者:and H. Nishimura
Ion expansion from extreme ultraviolet (EUV) and laser ablation plasmas
极紫外 (EUV) 和激光烧蚀等离子体的离子膨胀
- DOI:
- 发表时间:2014
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:N. Tanaka;M. Masuda;M. Murakami;A. Sunahara;S. Fujioka;H. Nishimura
- 通讯作者:H. Nishimura
Spectroscopic observation of ablation plasma generated with a laser-driven extreme ultraviolet (EUV) light source
用激光驱动的极紫外 (EUV) 光源产生的烧蚀等离子体的光谱观察
- DOI:
- 发表时间:2014
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:M. Masuda;N. Tanaka;A. Sunahara;S. Fujioka;H. Nishimura
- 通讯作者:H. Nishimura
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- 影响因子:0
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间质性肺炎:AI诊断的现状与未来
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Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
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Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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