Low Temperature and Non-Vacuum Bonding of Wide Bandgap Semiconductor Materials by VUV/Vapor-Assisted Method

VUV/蒸汽辅助法宽带隙半导体材料的低温非真空键合

基本信息

批准号：
26289112
负责人：
Shigetou Akitsu
金额：
$ 10.48万
依托单位：
National Institute for Materials Science
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2014
资助国家：
日本
起止时间：
2014-04-01 至 2018-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

项目成果

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专利数量（0）

Vacuum Ultraviolet (VUV) and Vapor-Combined Surface Modification for Hybrid Bonding of SiC, GaN, and Si Substrates at Low Temperature

用于低温 SiC、GaN 和 Si 衬底混合键合的真空紫外线 (VUV) 和蒸汽组合表面改性

DOI：
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
0
作者：
A. Shigetou;J. Mizuno;and S. Shoji
通讯作者：
and S. Shoji

生体親和性エレクトロニクス実装のための低温大気圧接合技術

用于生物相容性电子器件的低温大气压接合技术

DOI：
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
0
作者：
Mariusz Bojarski;Dariusz Czarkowski;Francisco de Leon;Qijun Deng;Marian K. Kazimierczuk;and Hiroo Sekiya;重藤暁津，水野潤，庄子習一
通讯作者：
重藤暁津，水野潤，庄子習一

国立台湾大学（国立台湾大学-NIMS連携大学院）(台湾)

国立台湾大学（国立台湾大学-NIMS研究生院）（台湾）

DOI：
发表时间：
期刊：
影响因子：
0
作者：
通讯作者：

Bonding technology in ambient air: For hybridization of electronic devices

环境空气中的粘合技术：用于电子设备的混合

DOI：
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
0
作者：
H. Kasahara;Z. Ding;M. Nakano;J. Suehiro;重藤暁津
通讯作者：
重藤暁津

水和物架橋低温接合技術の開発

水合物交联低温键合技术的发展

DOI：
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
0
作者：
重藤暁津
通讯作者：
重藤暁津

DOI：
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作者：
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Shigetou Akitsu其他文献

可飽和吸収体を用いたマルチソリトン生成に関する数値解析

利用可饱和吸收体产生多孤子的数值分析

DOI：
发表时间：
2021
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0
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Hainey Mel F.;Mano Takaaki;Kasaya Takeshi;Ochiai Tetsuyuki;Osato Hirotaka;Watanabe Kazuhiro;Sugimoto Yoshimasa;Kawazu Takuya;Arai Yukinaga;Shigetou Akitsu;Miyazaki Hideki T.;今村陸，長島圭吾，藤井瞬，熊﨑基，田邉孝;中島綾太，藤井瞬，今村陸，長島圭吾，田邉孝純
通讯作者：
中島綾太，藤井瞬，今村陸，長島圭吾，田邉孝純

レート方程式を用いたEr添加微小光共振器の過渡解析

使用速率方程对掺铒微光学腔进行瞬态分析

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发表时间：
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Hainey Mel F.;Mano Takaaki;Kasaya Takeshi;Jimba Yoji;Miyazaki Hiroshi;Ochiai Tetsuyuki;Osato Hirotaka;Sugimoto Yoshimasa;Kawazu Takuya;Shigetou Akitsu;Miyazaki Hideki T.;中島綾太，長島圭吾，藤井瞬，今村陸，田邉孝純
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マイクロ周波数コム応用へ向けた超精密機械加工技術の展開

微频率梳应用超精密加工技术开发

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
Hainey Mel F.;Mano Takaaki;Kasaya Takeshi;Ochiai Tetsuyuki;Osato Hirotaka;Watanabe Kazuhiro;Sugimoto Yoshimasa;Kawazu Takuya;Arai Yukinaga;Shigetou Akitsu;Miyazaki Hideki T.;今村陸，長島圭吾，藤井瞬，熊﨑基，田邉孝;中島綾太，藤井瞬，今村陸，長島圭吾，田邉孝純;藤井瞬，葉山優花，熊崎基，和田幸四郎，柿沼康弘，田邉孝純
通讯作者：
藤井瞬，葉山優花，熊崎基，和田幸四郎，柿沼康弘，田邉孝純

Breaking the interband detectivity limit with metasurface multi-quantum-well infrared photodetectors

利用超表面多量子阱红外光电探测器突破带间探测极限

DOI：
10.1364/oe.444223
发表时间：
2021
期刊：
Optics Express
影响因子：
3.8
作者：
Hainey Mel F.;Mano Takaaki;Kasaya Takeshi;Jimba Yoji;Miyazaki Hiroshi;Ochiai Tetsuyuki;Osato Hirotaka;Sugimoto Yoshimasa;Kawazu Takuya;Shigetou Akitsu;Miyazaki Hideki T.
通讯作者：
Miyazaki Hideki T.

コーティング法によるEr添加トロイド微小光共振器の作製

镀膜法制作掺铒环形微光腔

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
Hainey Mel F.;Mano Takaaki;Kasaya Takeshi;Ochiai Tetsuyuki;Osato Hirotaka;Watanabe Kazuhiro;Sugimoto Yoshimasa;Kawazu Takuya;Arai Yukinaga;Shigetou Akitsu;Miyazaki Hideki T.;今村陸，長島圭吾，藤井瞬，熊﨑基，田邉孝
通讯作者：
今村陸，長島圭吾，藤井瞬，熊﨑基，田邉孝