Study on room temperature atomic layer deposition and its application
室温原子层沉积及其应用研究
基本信息
- 批准号：15H03536
- 负责人：
- 金额：$ 9.32万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份：2015
- 资助国家：日本
- 起止时间：2015-04-01 至 2018-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Temperature-controlled atomic layer deposition of GaN using plasma-excited nitrogen source
使用等离子体激发氮源进行 GaN 温控原子层沉积
- DOI：
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：P.Pungboon Pansila;Kensaku Kanomata;Bashir Ahammad;Shigeru Kubota;Fumihiko Hirose
- 通讯作者：Fumihiko Hirose
Room-temperature atomic layer deposition of zirconium oxide using plasma excited water vapor
使用等离子体激发水蒸气进行氧化锆的室温原子层沉积
- DOI：
- 发表时间：2016
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Kentaro Tokoro;Kensaku Kanomata;Masanori Miura;Bashir Ahmmad;Shigeru Kubota;Fumihiko Hirose
- 通讯作者：Fumihiko Hirose
Room-Temperature Atomic Layer Deposition of Aluminum Silicate and its Application in Dye sensitized Solar Cells
硅酸铝的室温原子层沉积及其在染料敏化太阳能电池中的应用
- DOI：10.1116/1.5002716
- 发表时间：2017
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Takahiro Imai;Yoshiharu Mori;Kensaku Kanomata;Masanori Miura;Bashir Ahmmad;Shigeru Kubota;Fumihiko Hirose
- 通讯作者：Fumihiko Hirose
RT atomic layer deposition of TiO2 and its application to nanoparticle coating
TiO2 的 RT 原子层沉积及其在纳米粒子涂层中的应用
- DOI：
- 发表时间：2016
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：K. Kanomata;K. Kikuchi;B. Ahmmad;S. Kubota;F. Hirose
- 通讯作者：F. Hirose
Room-temperature Atomic Layer Deposition of Al2O3 for Anticorrosion Coating using Trimethlaluminum and remote-plasma excited water vapor
三甲基铝和远程等离子体激发水蒸气室温原子层沉积 Al2O3 防腐涂层
- DOI：
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：K. Kanomata;H. Ohba;P. Pungboon Pansila;B. Ahmmad;S. Kubota;K Hirahara;F. Hirose
- 通讯作者：F. Hirose
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ patent.updateTime }}
Hirose Fumihiko其他文献
Room temperature atomic layer deposition of niobium oxide using plasma excited humidified argon and its application to anticorrosion to hydrochloric acid
等离子体激发湿氩室温原子层沉积氧化铌及其在盐酸防腐中的应用
- DOI：
10.1116/1.5116844 - 发表时间：
2019 - 期刊：
- 影响因子：2.9
- 作者：
Yoshida Kazuki;Tokoro Kentaro;Kanomata Kensaku;Miura Masanori;Saito Kentaro;Ahmmad Bashir;Kubota Shigeru;Hirose Fumihiko - 通讯作者：
Hirose Fumihiko
Surface reaction kinetics of room temperature atomic layer deposition of ZnO observed by in situ IR absorption spectroscopy
原位红外吸收光谱观察室温原子层沉积ZnO表面反应动力学
- DOI：
10.1116/1.5079465 - 发表时间：
2019 - 期刊：
- 影响因子：2.9
- 作者：
Yoshida Kazuki;Saito Kentaro;Miura Masanori;Kanomata Kensaku;Hirose Fumihiko - 通讯作者：
Hirose Fumihiko
Nanoscale Tunnel Junctions and Metallic Single-Electron Transistors via Shadow Evaporation and In Situ Atomic Layer Deposition of Tunnel Barriers
通过隧道势垒的阴影蒸发和原位原子层沉积实现纳米级隧道结和金属单电子晶体管
- DOI：
10.1021/acsanm.0c02937 - 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：5.9
- 作者：
Shimada Hiroshi;Koike Takehiro;Kikkawa Keisuke;Konno Hiroki;Ito Naoki;Kobayashi Ryusuke;Mizugaki Yoshinao;Kanomata Kensaku;Miura Masanori;Hirose Fumihiko - 通讯作者：
Hirose Fumihiko
電子-プロトン相関物性の創出に向けた自己組織化異種二分子膜における形成条件の検討
检查自组装异质双层膜的形成条件以创建电子-质子相关物理性质
- DOI：
- 发表时间：
2020 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Lau Jocelyn Min Yuan;Kanomata Kensaku;Hirose Fumihiko;Tero Ryugo;棟安陸，山田剛司，加藤浩之 - 通讯作者：
棟安陸，山田剛司，加藤浩之
Controlling Efficiency of Graphene Oxide Quenching to Lipid Bilayer
控制氧化石墨烯淬灭脂质双层的效率
- DOI：
- 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Lau Jocelyn Min Yuan;Kanomata Kensaku;Hirose Fumihiko;Tero Ryugo - 通讯作者：
Tero Ryugo
Hirose Fumihiko的其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
{{ truncateString('Hirose Fumihiko', 18)}}的其他基金
A study of compositite oxide super lattices fabricated by radical-surface-excitation room-temperature atomic layer deposition
自由基表面激发室温原子层沉积复合氧化物超晶格的研究
- 批准号：
19H01884 - 财政年份：2019
- 资助金额：
$ 9.32万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Study on fabrication of nanoparticle-type superatoms by using RT atomic layer deposition
RT原子层沉积制备纳米粒子型超原子的研究
- 批准号：
15K13299 - 财政年份：2015
- 资助金额：
$ 9.32万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
相似国自然基金
层工程诱导的Bi5Ti3FeO15基弛豫铁电薄膜储能特性研究
- 批准号：12364016
- 批准年份：2023
- 资助金额：31 万元
- 项目类别：地区科学基金项目
超声驱动压电薄膜刺激迷走神经治疗自身免疫性心肌炎及机制研究
- 批准号：82302227
- 批准年份：2023
- 资助金额：30 万元
- 项目类别：青年科学基金项目
可控掺杂小带隙硫化铅量子点薄膜及同质结光电二极管研究
- 批准号：62304085
- 批准年份：2023
- 资助金额：10 万元
- 项目类别：青年科学基金项目
量子点用于钙钛矿薄膜缺陷管理及太阳电池界面调控
- 批准号：22308112
- 批准年份：2023
- 资助金额：30 万元
- 项目类别：青年科学基金项目
基于胺/硫醇一步溶液法制备多阴离子V-VI-VII硫卤化物薄膜太阳能电池
- 批准号：22309158
- 批准年份：2023
- 资助金额：30 万元
- 项目类别：青年科学基金项目
相似海外基金
金属ー有機構造体を鋳型にしたシクロデキストリン薄膜の分子吸着動的メカニズムの解明
以金属有机骨架为模板阐明环糊精薄膜分子吸附的动力学机制
- 批准号：
22K04751 - 财政年份：2022
- 资助金额：
$ 9.32万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
A study on current modulation mechanism of surface-chemical-reaction associated thin film transistor under UV exposure
紫外照射下表面化学反应相关薄膜晶体管电流调制机制研究
- 批准号：
22K18787 - 财政年份：2022
- 资助金额：
$ 9.32万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
Frustrated monolayer of ionic liquids
离子液体的受挫单层
- 批准号：
21K13896 - 财政年份：2021
- 资助金额：
$ 9.32万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
Construction of thin film deposition model in CVD / ALD method considering chemical reaction and interfacial flow phenomenon
考虑化学反应和界面流动现象的CVD/ALD法薄膜沉积模型构建
- 批准号：
21H01243 - 财政年份：2021
- 资助金额：
$ 9.32万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
プラズマ支援パルスレーザー蒸着による高耐熱オールセラミックス黒色絶縁薄膜の開発
等离子体辅助脉冲激光沉积高耐热全陶瓷黑色绝缘薄膜的研制
- 批准号：
21J12847 - 财政年份：2021
- 资助金额：
$ 9.32万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows