A study of compositite oxide super lattices fabricated by radical-surface-excitation room-temperature atomic layer deposition

自由基表面激发室温原子层沉积复合氧化物超晶格的研究

基本信息

批准号：
19H01884
负责人：
Hirose Fumihiko
金额：
$ 9.65万
依托单位：
Yamagata University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2019
资助国家：
日本
起止时间：
2019-04-01 至 2022-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

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项目成果

期刊论文数量（22）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

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专利数量（0）

Low-temperature atomic layer deposition of AlN explained by infrared absorption spectroscopy

红外吸收光谱解释 AlN 的低温原子层沉积

DOI：
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0
作者：
Kentaro Saito;Masanori Miura;Kensaku Kanomata;Bashir Ahmmad;Shigeru Kubota and Fumihiko Hirose
通讯作者：
Shigeru Kubota and Fumihiko Hirose

Room-temperature atomic layer deposition of iron oxide using plasma excited humidified argon

使用等离子体激发湿氩进行氧化铁的室温原子层沉积

DOI：
10.1116/6.0001622
发表时间：
2022
期刊：
Journal of Vacuum Science & Technology A
影响因子：
0
作者：
Yoshida Kazuki;Nagata Issei;Saito Kentaro;Miura Masanori;Kanomata Kensaku;Ahmmad Bashir;Kubota Shigeru;Hirose Fumihiko
通讯作者：
Hirose Fumihiko

High Acid Corrosion Resistance of Nb2O5 Thin Film Deposited by Room Temperature ALD

室温ALD沉积Nb2O5薄膜的高耐酸腐蚀性能

DOI：
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
0
作者：
Taya Hidetoshi;Park Aaron;Cho Sungtae;Gubler Philipp;Hattori Koichi;Hong Juhee;Huang Xu-Guang;Lee Su Houng;Monnai Akihiko;Ohnishi Akira;Oka Makoto;Yang Di-Lun;Kazuki Yoshida; Kentaro Saito; Masanori Miura; Kensaku Kanomata; Bashir Ahmmad; Shigeru Kubota; Fumihiko Hirose
通讯作者：
Kazuki Yoshida; Kentaro Saito; Masanori Miura; Kensaku Kanomata; Bashir Ahmmad; Shigeru Kubota; Fumihiko Hirose

Room temperature atomic layer deposition of niobium oxide using plasma excited humidified argon and its application to anticorrosion to hydrochloric acid

等离子体激发湿氩室温原子层沉积氧化铌及其在盐酸防腐中的应用

DOI：
10.1116/1.5116844
发表时间：
2019
期刊：
Journal of Vacuum Science & Technology A
影响因子：
2.9
作者：
Yoshida Kazuki;Tokoro Kentaro;Kanomata Kensaku;Miura Masanori;Saito Kentaro;Ahmmad Bashir;Kubota Shigeru;Hirose Fumihiko
通讯作者：
Hirose Fumihiko

室温原子層堆積法の開発とガスバリア応用

室温原子层沉积方法的发展及阻气应用

DOI：
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
0
作者：
鹿又健作;三浦正範;廣瀬文彦
通讯作者：
廣瀬文彦

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Hirose Fumihiko其他文献

Surface reaction kinetics of room temperature atomic layer deposition of ZnO observed by in situ IR absorption spectroscopy

原位红外吸收光谱观察室温原子层沉积ZnO表面反应动力学

DOI：
10.1116/1.5079465
10.1116/1.5079465
发表时间：
2019
2019
期刊：
Journal of Vacuum Science & Technology A
Journal of Vacuum Science & Technology A
影响因子：
2.9
作者：
Yoshida Kazuki;Saito Kentaro;Miura Masanori;Kanomata Kensaku;Hirose Fumihiko
Yoshida Kazuki;Saito Kentaro;Miura Masanori;Kanomata Kensaku;Hirose Fumihiko
通讯作者：
Hirose Fumihiko
Hirose Fumihiko

Nanoscale Tunnel Junctions and Metallic Single-Electron Transistors via Shadow Evaporation and In Situ Atomic Layer Deposition of Tunnel Barriers

通过隧道势垒的阴影蒸发和原位原子层沉积实现纳米级隧道结和金属单电子晶体管

DOI：
10.1021/acsanm.0c02937
10.1021/acsanm.0c02937
发表时间：
2021
2021
期刊：
ACS Applied Nano Materials
ACS Applied Nano Materials
影响因子：
5.9
作者：
Shimada Hiroshi;Koike Takehiro;Kikkawa Keisuke;Konno Hiroki;Ito Naoki;Kobayashi Ryusuke;Mizugaki Yoshinao;Kanomata Kensaku;Miura Masanori;Hirose Fumihiko
Shimada Hiroshi;Koike Takehiro;Kikkawa Keisuke;Konno Hiroki;Ito Naoki;Kobayashi Ryusuke;Mizugaki Yoshinao;Kanomata Kensaku;Miura Masanori;Hirose Fumihiko
通讯作者：
Hirose Fumihiko
Hirose Fumihiko

電子-プロトン相関物性の創出に向けた自己組織化異種二分子膜における形成条件の検討

检查自组装异质双层膜的形成条件以创建电子-质子相关物理性质

DOI：
发表时间：
2020
2020
期刊：
影响因子：
0
作者：
Lau Jocelyn Min Yuan;Kanomata Kensaku;Hirose Fumihiko;Tero Ryugo;棟安陸，山田剛司，加藤浩之
Lau Jocelyn Min Yuan;Kanomata Kensaku;Hirose Fumihiko;Tero Ryugo;棟安陸，山田剛司，加藤浩之
通讯作者：
棟安陸，山田剛司，加藤浩之
棟安陸，山田剛司，加藤浩之

Controlling Efficiency of Graphene Oxide Quenching to Lipid Bilayer

控制氧化石墨烯淬灭脂质双层的效率

DOI：
发表时间：
2021
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
Lau Jocelyn Min Yuan;Kanomata Kensaku;Hirose Fumihiko;Tero Ryugo
Lau Jocelyn Min Yuan;Kanomata Kensaku;Hirose Fumihiko;Tero Ryugo
通讯作者：
Tero Ryugo
Tero Ryugo

超大規模離散空間におけるFujita-Ogawaモデルの効率的解法

超大规模离散空间中藤田-小川模型的高效求解

DOI：
发表时间：
2022
2022
期刊：
土木計画学研究・講演集
土木計画学研究・講演集
影响因子：
0
作者：
Yoshida Kazuki;Nagata Issei;Saito Kentaro;Miura Masanori;Kanomata Kensaku;Ahmmad Bashir;Kubota Shigeru;Hirose Fumihiko;涌井優尚，酒井高良，赤松隆
Yoshida Kazuki;Nagata Issei;Saito Kentaro;Miura Masanori;Kanomata Kensaku;Ahmmad Bashir;Kubota Shigeru;Hirose Fumihiko;涌井優尚，酒井高良，赤松隆
通讯作者：
涌井優尚，酒井高良，赤松隆
涌井優尚，酒井高良，赤松隆

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Study on room temperature atomic layer deposition and its application

室温原子层沉积及其应用研究

批准号：
15H03536
15H03536
财政年份：
2015
资助金额：
$ 9.65万
$ 9.65万
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Study on fabrication of nanoparticle-type superatoms by using RT atomic layer deposition

RT原子层沉积制备纳米粒子型超原子的研究

批准号：
15K13299
15K13299
财政年份：
2015
资助金额：
$ 9.65万
$ 9.65万
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research