Development of dopant concentration measuring technique for next generation semiconductor devices

开发下一代半导体器件的掺杂剂浓度测量技术

基本信息

批准号：
25420285
负责人：
TANAKA Shigeyasu
金额：
$ 3.33万
依托单位：
Chubu University (2015-2016)Nagoya University (2013-2014)
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2013
资助国家：
日本
起止时间：
2013-04-01 至 2017-03-31
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-25420285/
关键词：
電子線誘起電流 EBIC SEM 不純物濃度シリコン

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

An attempt to visualize dopant distribution in Si by low-voltage SEM-EBIC

尝试通过低压 SEM-EBIC 可视化 Si 中的掺杂剂分布

DOI：
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
0
作者：
S. Tanaka;T. Niwa and T. Tanji
通讯作者：
T. Niwa and T. Tanji

BSE detector incorporated in STEM sample holder and its application

STEM 样品架中的 BSE 探测器及其应用

DOI：
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
0
作者：
H. Tsuruta;S. Tanaka;T. Tanji and C. Morita
通讯作者：
T. Tanji and C. Morita

A simple way to obtain backscattered electron images in a scanning transmission electron microscope

在扫描透射电子显微镜中获得背散射电子图像的简单方法

DOI：
10.1093/jmicro/dfu017
发表时间：
2014
期刊：
Microscopy
影响因子：
1.8
作者：
H. Tsuruta;S. Tanaka;T. Tanji and C. Morita:
通讯作者：
T. Tanji and C. Morita:

走査型電子顕微鏡による半導体ポテンシャル分布の観察

使用扫描电子显微镜观察半导体电位分布

DOI：
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
0
作者：
軽海貴博;田中成泰;丹司敬義;天野浩
通讯作者：
天野浩

電子線ホログラフィ法による窒化物半導体超格子内のピエゾ電界の解析

使用电子束全息术分析氮化物半导体超晶格中的压电场

DOI：
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
0
作者：
長尾俊介;田中成泰;丹司敬義;天野浩
通讯作者：
天野浩

DOI：
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Development of dopant concentration measurement technique for next-generation devices

开发下一代器件的掺杂剂浓度测量技术

批准号：
20560296
财政年份：
2008
资助金额：
$ 3.33万
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Water adaptation strategy in anuran amphibians and molecular diversity of aquaporin

无尾两栖动物的水适应策略和水通道蛋白的分子多样性

批准号：
19370024
财政年份：
2007
资助金额：
$ 3.33万
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Molecular and cellular diversity of aquaporin in a water-adaptation of the amphibians

两栖动物水适应中水通道蛋白的分子和细胞多样性

批准号：
14540612
财政年份：
2002
资助金额：
$ 3.33万
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Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Role of vascular endothelial growth factor (VEGF) in the formation of vascular system for regulating the adenohyphysial function

血管内皮生长因子（VEGF）在血管系统形成中调节腺垂体功能的作用

批准号：
12640649
财政年份：
2000
资助金额：
$ 3.33万
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Cellular organization and neuronal inducer (inhibitor) in Xenopus adenohypothesis.

非洲爪蟾腺假说中的细胞组织和神经元诱导剂（抑制剂）。

批准号：
08640841
财政年份：
1996
资助金额：
$ 3.33万
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Variation and immunocyochemical localization of processing enzymes in proopiomelanocortin cells during ontoneny

原阿黑皮素细胞在色调过程中加工酶的变化和免疫细胞化学定位

批准号：
04670002
财政年份：
1992
资助金额：
$ 3.33万
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)

Immunoelectron microscopical analysis of intracellular processing of hormones by use of ultracryosection.

使用超冷冻切片对细胞内激素加工进行免疫电子显微镜分析。

批准号：
02670004
财政年份：
1990
资助金额：
$ 3.33万
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)

相似海外基金

Effects of defects and surface structure on oxide film on non-polar 4H-SiC plane

非极性4H-SiC面氧化膜缺陷及表面结构的影响

批准号：
17K05049
财政年份：
2017
资助金额：
$ 3.33万
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

EBIC study of dislocations in SrTiO3

SrTiO3 中位错的 EBIC 研究

批准号：
26820120
财政年份：
2014
资助金额：
$ 3.33万
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)

Nanoscale characterisation of nitride semiconductor thin films using EBSD, ECCI, CL and EBIC.

使用 EBSD、ECCI、CL 和 EBIC 对氮化物半导体薄膜进行纳米级表征。

批准号：
EP/J016101/1
财政年份：
2013
资助金额：
$ 3.33万
项目类别：
Research Grant