Simple and simultaneous measurement of five-degrees-of-freedom error motions of high-speed microspindle

高速微主轴五自由度误差运动的简单同步测量

基本信息

项目摘要

We present an optical technique to measure five-degree-of-freedom error motions of a high-speed microspindle. The measurement system consists of a rod lens, a ball lens, four divided laser beams, and multiple divided photodiodes. When the spindle rotates with its concomitant rotation errors, the rod and ball lenses, which are mounted to the chuck of the spindle, are displaced, and this displacement is measured using an optical technique. The results show that the measurement system has a resolution of 5 nm and can be used to evaluate high-speed microspindle rotation errors.
我们提出了一种光学技术来测量高速微主轴的五自由度误差运动。测量系统由棒透镜、球透镜、四分割激光束和多个分割光电二极管组成。当主轴旋转并伴随旋转误差时,安装在主轴卡盘上的杆透镜和球透镜会发生位移,并且使用光学技术测量该位移。结果表明,该测量系统的分辨率为5 nm,可用于评估高速微主轴旋转误差。

项目成果

期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Measurement of Five-Degrees-of-Freedom Error Motions for a Micro High-Speed Spindle Using an Optical Technique
利用光学技术测量微型高速主轴的五自由度运动误差
  • DOI:
  • 发表时间:
    2011
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    H. Waki;T. Kitamura;H. Ogi;A. Kobayashi;Hiroshi MURAKAMI
  • 通讯作者:
    Hiroshi MURAKAMI
Simple and Simultaneous Measurement of Five-Degrees-of-Freedom Error Motions for a Micro High-Speed Spindle
微型高速主轴五自由度误差运动的简单同步测量
  • DOI:
  • 发表时间:
    2012
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Hiroshi MURAKAMI;Akio KATSUKI;Takao SAJIMA;Noriya NAKAYAMA
  • 通讯作者:
    Noriya NAKAYAMA
Optical Measurement of Five-Degree-of-Freedom Error Motions for a Micro High-Speed Spindle
微型高速主轴五自由度误差运动的光学测量
  • DOI:
  • 发表时间:
    2010
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Hiroshi MURAKAMI;Norio KAWAGOISHI;Eiji KONDO;Akira KODAMA
  • 通讯作者:
    Akira KODAMA
高速小径主軸5自由度運動誤差の簡易同時計測-誤差解析および評価実験-
简单同时测量高速小直径主轴5个自由度运动误差-误差分析与评估实验-
  • DOI:
  • 发表时间:
    2011
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    村上洋;甲木昭雄;鬼鞍宏猷;佐島隆生;中山義野
  • 通讯作者:
    中山義野
ホームページ
主页
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

MURAKAMI Hiroshi其他文献

EVALUATION OF INHERENT OPTICAL PROPERTIES OF SEAWATER IN JAPANESE OPEN COASTAL SEA BASED ON MODIS SATELLITE DATA
基于MODIS卫星数据的日本近海海水固有光学特性评价
SPATIO-TEMPORAL VARIATIONS OF BACKWARD SCATTERING COEFFICIENT OF SEAWATER IN JAPANESE OPEN COASTAL SEA BASED ON EMPIRICAL ORTHOGONAL FUNCTIONS ANALYSIS
基于经验正交函数分析的日本近海海水后向散射系数时空变化
8-Hydroxyguanineによる遠隔作用変異を選択的に検出するアッセイ系の構築.
构建用于通过 8-羟基鸟嘌呤选择性检测远程作用突变的检测系统。
  • DOI:
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    YOSHIDA Mayumi;KIKUCHI Maki;NAGAO Takashi M.;MURAKAMI Hiroshi;NOMAKI Tomoyuki;HIGURASHI Akiko;井藤莉佳子,森まどか,鈴木哲矢,紙谷浩之
  • 通讯作者:
    井藤莉佳子,森まどか,鈴木哲矢,紙谷浩之

MURAKAMI Hiroshi的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

{{ truncateString('MURAKAMI Hiroshi', 18)}}的其他基金

高専スペースアカデミアの活動を通じてのフィードバック型PBL実験の構築
通过国立技术研究所空间研究院的活动构建反馈型PBL实验
  • 批准号:
    20H00843
  • 财政年份:
    2020
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
小学校のプログラミング教育の問題を解決するための教材マッチングシステムの構築
构建解决小学编程教育问题的教材配套体系
  • 批准号:
    19H00177
  • 财政年份:
    2019
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
Creating neo-genetic code
创建新遗传密码
  • 批准号:
    15K12741
  • 财政年份:
    2015
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
Verification of optical storage in liquids at room temperature: dramatic suppression of relaxation effects on the optical response of molecules due to nanoconfinement
室温下液体中光学存储的验证:纳米限制对分子光学响应的​​弛豫效应的显着抑制
  • 批准号:
    26600017
  • 财政年份:
    2014
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
Development of CCD data acquisition system with SpaceWire and study of new readout method
SpaceWire CCD数据采集系统的开发及新读出方法的研究
  • 批准号:
    21740191
  • 财政年份:
    2009
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
Regulation of meiosis
减数分裂的调节
  • 批准号:
    21370004
  • 财政年份:
    2009
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
D-amino acids and beta-amino acids : a new frontier in Ribosomal synthesis of non-standard polypeptides
D-氨基酸和β-氨基酸:非标准多肽核糖体合成的新领域
  • 批准号:
    20681022
  • 财政年份:
    2008
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
Development of a Micro Hole Measuring System Using an Optical Fiber Probe
使用光纤探头的微孔测量系统的开发
  • 批准号:
    19760096
  • 财政年份:
    2007
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
Cell cycle checkpoint control
细胞周期检查点控制
  • 批准号:
    17370072
  • 财政年份:
    2005
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Infrared technology development toward the search of extrasolar zodiacal light
寻找太阳系外黄道光的红外技术发展
  • 批准号:
    16077205
  • 财政年份:
    2004
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas

相似海外基金

Development on position sensorless control for whole operating range of high-speed permanent magnet syncronous motor
高速永磁同步电机全工作范围无位置传感器控制的研制
  • 批准号:
    18K04090
  • 财政年份:
    2018
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Ultra-precise machine system based on 6-dof motion measurement with laser interferometry-based trackers
基于六自由度运动测量和基于激光干涉测量的跟踪器的超精密机器系统
  • 批准号:
    17K06116
  • 财政年份:
    2017
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Investigation of optimal shooting strategy with higher success rate in basketball game
篮球比赛中较高成功率的最优投篮策略研究
  • 批准号:
    15K16482
  • 财政年份:
    2015
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
Optimal variable step-size LMS algorithm and application to vibration analysis
最优变步长LMS算法及其在振动分析中的应用
  • 批准号:
    15K06117
  • 财政年份:
    2015
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
3次元ナノ精度形状修正加工システムの構築と次世代軟X線ミラーへの展開
3D纳米精度变形加工系统构建及其在下一代软X射线镜中的应用
  • 批准号:
    14J08051
  • 财政年份:
    2014
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
{{ showInfoDetail.title }}

作者:{{ showInfoDetail.author }}

知道了