薄膜形成プロセスにおけるコンピュータ支援反応系設計法の確立

薄膜形成过程计算机辅助反应系统设计方法的建立

基本信息

批准号：
98J04103
负责人：
高橋崇宏
金额：
$ 1.54万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
1998
资助国家：
日本
起止时间：
1998 至 1999
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-98J04103/
关键词：

项目摘要

项目成果

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