Development of continuous flowing high density plasma source in the atmospheric pressure?

开发大气压下连续流动高密度等离子体源？

基本信息

批准号：
18560268
负责人：
MAEYAMA Mitsuaki
金额：
$ 2.28万
依托单位：
Saitama University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
起止时间：
2006 至 2007
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18560268/
关键词：
Plasma atmospheric pressure plasma micro hollow cathode discharge MHCD MCS discharge parallel MCS discharge WIPS discharge MHCD 並列MCS放電

项目摘要

The micro hollow cathode discharge (MHCD) is a promising one to generate a atmospheric pressure glow plasma. And, to produce 3-dimensional large volume and atmospheric pressure glow plasma, parallel operations of the micro-cathode sustained (MCS) discharge is required. In this study, we demonstrated parallel MCS discharges in flat plate and cylindrical geometries, as follow,1: Demonstration of stable parallel MHCD Comparing current-voltage characteristics of MHCD of several dielectric materials (mica, Teflon, FR-4), MHCD electrode using FR-4 has a long lifetime and wide discharge current range over 100mA.2: Resolving operating conditions of parallel MCS discharge Injecting large amount of plasma from MHCD electrodes to MCS discharge region, the break down and the sustaining voltages of MCS discharge is demonstrated to be controlled by the current value of MHCD. And using these conditions, parallel MCS discharges of flat plate electrodes, furthermore cylindrical shaped electrode which suites well for the continuous gas treatment applications.

微空心阴极放电（MHCD）是一种很有前景的产生大气压辉光等离子体的放电方法。并且，为了产生三维大体积和大气压辉光等离子体，需要微阴极持续（MCS）放电的并行操作。在本研究中，我们演示了平板和圆柱形几何形状的并行 MCS 放电，如下所示，1：稳定并行 MHCD 的演示比较几种介电材料（云母、特氟龙、FR-4）的 MHCD 的电流-电压特性，使用 MHCD 电极FR-4具有长寿命和超过100mA的宽放电电流范围。2：解决并联MCS放电的工作条件从MHCD电极注入大量等离子体到MCS放电在该区域，MCS放电的击穿电压和维持电压被证明是由MHCD的电流值控制的。利用这些条件，平板电极以及圆柱形电极可以并行 MCS 放电，非常适合连续气体处理应用。

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

並列MHCDを利用した大容積プラズマ源に与える単一MHCDの影響

使用并联 MHCD 的单个 MHCD 对大容量等离子体源的影响

DOI：
发表时间：
2007
期刊：
平成19年電気学会全国大会講演予稿集 1
影响因子：
0
作者：
Kazunari;Shinbo;et. al.;石ヶ谷章弘
通讯作者：
石ヶ谷章弘

Micro Hollow Cathode Discharge for Large Volume and Atmospheric Pressure Glow Plasma Source

用于大容量和大气压辉光等离子体源的微型空心阴极放电

DOI：
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
0
作者：
Kazunari;Shinbo;et. al.;石ヶ谷章弘;岩崎正浩;石ヶ谷章弘;前山光明;前山光明;石ケ谷章弘;A. Ishigaya
通讯作者：
A. Ishigaya

圧力情報の追加による磁気面内部補間解析の収束性の検討

通过添加压力信息检查磁面内插分析的收敛性

DOI：
发表时间：
2007
期刊：
平成19年電気学会全国大会講演予稿集 1
影响因子：
0
作者：
Kazunari;Shinbo;et. al.;石ヶ谷章弘;岩崎正浩
通讯作者：
岩崎正浩

Effects of one MHCD to the Large Volume Plasma using parallel MHCDs

使用并行 MHCD 时，一台 MHCD 对大容量等离子体的影响

DOI：
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
0
作者：
Kazunari;Shinbo;et. al.;石ヶ谷章弘;岩崎正浩;石ヶ谷章弘;前山光明;前山光明;石ケ谷章弘;A. Ishigaya;M. Maeyama;M. Maeyama;石ケ谷章弘;M. Maeyama;A. Ishigaya
通讯作者：
A. Ishigaya

未知関数の違いによる磁気面内部補間解析の収束性の検討

由于未知函数的差异而检查磁表面内插分析的收敛性