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High functional telecommunication devices using MEMS technology
采用 MEMS 技术的高性能电信设备
基本信息
- 批准号：17068002
- 负责人：
- 金额：$ 43.46万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- 财政年份：2005
- 资助国家：日本
- 起止时间：2005 至 2008
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
MEMS技術により微細な立体構造とマイクロアクチュエータを集積した機能性の高い光通信デバイスを研究した.具体的にはSi自立格子を用いた光フィルタを製作し,格子周期を変調できることを示した.また周期可変のブレーズ格子を実現した.さらにSi細線導波路波長選択スイッチを試作した.光路切り替えマイクロミラースイッチの高機能化のため角度センサの搭載や低電駆動法などを研究した.
使用MEMS技术，我们研究了高度功能的光学通信设备，这些设备结合了精细的三维结构和微驱动器。具体而言，我们使用SI自由支撑光栅制作了光学滤波器，这表明可以调制光栅周期。我们还意识到了带有可变周期的大火光栅。我们还创建了一个原型SI薄丝波导波长选择性开关。我们研究了角度传感器和低电动驾驶方法的安装，以改善光路开关的微动开关的功能。
项目成果
期刊论文数量（85）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Micromachined surface emitting dye laser with a serf-suspended guided mode resonant grating
具有自悬浮导模谐振光栅的微加工表面发射染料激光器
- DOI：
- 发表时间：2007
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：N.Matsuyama;Y.Kanamori;J-S.Ye;K.Hane
- 通讯作者：K.Hane
Comprehensive Microsystems 3.01 Micro-Mirrors
综合微系统3.01微镜
- DOI：
- 发表时间：2008
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：T.Kobayashi;Y.Kanamori;K.Hane;羽根一博;羽根一博
- 通讯作者：羽根一博
Optical MEMS and NEMS : Thin film micro/nano machining and integration
光学MEMS和NEMS：薄膜微/纳米加工和集成
- DOI：
- 发表时间：2006
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：K.Takahashi;Y.Kanamori;K.Hane;K.Hane
- 通讯作者：K.Hane
Self-supported pitch-variable guided-mode resonant grating filters at telecom wavelength
电信波长自支撑变节距导模谐振光栅滤波器
- DOI：
- 发表时间：2007
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Y.Kanamori;N.Matsuyama;J.-S.Ye;K.Hane
- 通讯作者：K.Hane
Driving of micromirror and simultaneous detection of rotation angle using integrated piezoresistive sensor
使用集成压阻传感器驱动微镜并同时检测旋转角度
- DOI：
- 发表时间：2007
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：M.Sasaki;M.Tabata;K.Hane
- 通讯作者：K.Hane
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