X線結像光学系評価法

X射线成像光学系统评价方法

基本信息

批准号：
02233103
负责人：
佐藤繁
金额：
$ 19.84万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1990
资助国家：
日本
起止时间：
1990 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究は各種の現存する光学計測装置を改造整備して種々の光学素子の特性研究に対応すること(三谷,前沢,渡辺,小川原,加藤,宮原,太田),及び大曲率非球面鏡の三次元曲率測定法の開発研究(佐藤,東)の2つに大別される。前者のうち,軟X線光学素子性能評価装置(三谷)では検出器駆動系のモ-タ-,エンコンダ-を増強し信頼性と読取精度の向上をはかりグリスホッパ-分光器出射光の偏光度測定を行った。同装置用軟X線高純度単色計(前沢)では元年度製作済の単色計内部に納めるミラ-の詳細設計製作をし設置調整と単色計全体の組立て動作真空試験を実施した。プラズマ機器較正用ビ-ムライン(渡辺,桜井)では回析格子の交換,イオンチェンバ-の改良を行ない多層膜の反射率測定,各種検出器の絶対感度較正を行うことが出来,実用の域に達した。宇宙研平行X線源(小川原,紀伊)では平行X線を利用しキャンパス移転に備えて鏡の表面粗さ,面形状測定等性能評価の検討を行った。レ-ザ-プラズマX線源(加藤)では重いタ-ゲット物質から放出されるX線スペクトルの絶対強度測定及びデ-タベ-ス確立のための理論解析を行った。光電子放出による表面界面の評価(宮原)では購入した装置と既設光電子分光試料槽を組み合せ白金コ-トSiCミラ-の清浄及び劣化表面からの光電子収量の差が40%以上であることを見出だした。表面EXAFS,X線定在波法による表面界面の評価(太田)では高工研放射光施設二結晶分光器を用いてNi(100)面に塩素を付着させた表面の構造解析を行い,塩素付着によってNi表面第1層が外部に向けて0.2A^^°延びていることを見出だした。三次元曲面形状評価法(佐藤,東)では元年度に試作した2周波レ-ザ-を用いた光ヘテロダイン干渉計の検討と改良を行い曲率50mmの凹面鏡の測定を10nm以下の精度で測定できることを確めた。また大寸法ミラ-表面を小領域に分割して測定するための部分分割測定法のアルゴリズムを検討した。

这项研究涉及修改现有的各种光学测量装置，以支持各种光学元件（三谷、前泽、渡边、小河原、加藤、宫原、太田）的特性研究，以及大曲率非球面镜的三维测量开发研究。曲率测量方法（Sato、Higashi）大致分为两种。其中，软X射线光学元件性能评估系统（三谷）强化了探测器驱动系统的电机和编码器，以提高可靠性和读数精度，并测量油脂斗和光谱仪输出光的偏振度。我做到了。对于同一设备的软X射线高纯单色仪（前泽），我们设计并生产了2012年制造的单色仪内部的详细反射镜，并对安装和操作进行了真空测试。整个单色仪。在等离子设备校准光束线（渡边、樱井），我们更换了衍射光栅，改进了离子室，测量了多层膜的反射率，校准了各种探测器的绝对灵敏度，使其投入实际使用成为可能。达到了。在ISAS平行X射线源（纪伊小河原），平行X射线用于评估镜子的性能，包括表面粗糙度和表面形状测量，为校园搬迁做准备。在激光等离子体X射线源（Kato）上，我们测量了重目标材料发射的X射线光谱的绝对强度，并进行了理论分析以建立数据库。在通过光电子发射（Miyahara）评估表面界面时，我们将购买的设备与现有的光电子能谱样品槽相结合，发现镀铂SiC反射镜的清洁表面和退化表面的光电子产率差异超过40%。 Surface EXAFS是使用X射线驻波法（Ota）进行表面界面评估，使用国立技术研究所同步加速器辐射设施的双晶光谱仪来分析Ni(100)表面附着有氯的表面结构。发现第一Ni表面层由于粘附而向外延伸0.2A^^°。在三维曲面形状评估方法（Sato，Higashi）中，我们研究并改进了第一年原型制作的使用二频激光的光学外差干涉仪，并且能够测量具有曲率的凹面镜我确认了这一点，精度为 50 毫米或更小。我们还研究了将大镜面分割成小区域的部分分割测量方法的算法。