X線結像光学系評価法
X射线成像光学系统评价方法
基本信息
- 批准号:01651008
- 负责人:
- 金额:$ 16万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- 财政年份:1989
- 资助国家:日本
- 起止时间:1989 至 无数据
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
本研究は大きく2つに分けられる。1つは各種の現存する光学計測装置を改造整備し種々の光学素子の特性研究に対応すること(三谷、前沢、渡辺、小川原、加藤、宮原、太田)、もう1つは大曲率非球面鏡の三次元曲率測定法の開発研究(東、佐藤)である。前者のうち、軟X線光学素子性能評価装置(三谷)では調整整備と測定操作ソフトの開発を行い、さらに検出器の光電面上で平担な感度特性を得るための光電陰極の最適形状を探索した。同評価装置用高純度軟X線分光系(前沢)では設計条件を満す光学系の検討を行い、第1班(軟X線光学の基礎)と協力して最適のものを発注した。プラズマ計測機器較正用ビームライン(渡辺、桜井)ではミラーの酸素放電洗浄や回折格子の更新を行なって散乱光を減らし3〜10nm領域での多層膜ミラーの反射率測定を行なった。宇宙研平行X線光源(小川原)では現在の13m長ビームライン(駒場)を渕野辺キャンパスに移設し40m長の平行X線源に発展させるための真空テストやアラインメント等基礎的データの収集を行った。レーザープラズマX線源(加藤)では使用目的に合わせたスペクトル分布と発生効率を得るため、ガラスレーザー激光II号を用いて金、鉛、ビスマスターゲットを照射し発生した軟X線の測定を行い合せて理論的解析を進めた。光電子放出による表面界面の評価(宮原)では、XPS用検出器に電圧を印加するための高精度フローティング電源を製作した。表面EXAFS、X線定在波法による表面界面の評価(太田)では、銅、ニッケルにイオウや塩素を吸着させた時の表面原子構造の再配置を2つの方法を併用して観測した。後者の三次元曲面形状評価法(東、佐藤)では、イメージディセクタカメラによって二次元走査を行い表面位相情報を直接検出する光ヘテロダイン干渉計実験装置を製作した。基本性能の測定や種々の条件下での干渉計出力の安定性の実験を行い、ナノメートル級の測定精度が得られることを確かめた。
这项研究大致可以分为两个部分。一是修改和维护现有的各种光学测量装置,以支持各种光学元件(三谷、前泽、渡边、小河原、加藤、宫原、太田)的特性研究,二是改善大曲率非球面镜的特性。三维曲率测量方法的发展研究(Higashi,Sato)。其中,对于软X射线光学元件性能评估系统(三谷),我们进行了测量操作软件的调整和开发,并开发了光电阴极的最佳形状,以获得探测器光电阴极上平坦的灵敏度特性。我探索了。对于评估装置的高纯度软X射线光谱系统(前泽),我们研究了满足设计条件的光学系统,并与第1组(软X射线光学基础)合作订购了最佳光学系统。在等离子体测量设备校准光束线(渡边、樱井),我们用氧气放电清洁了反射镜,并更新了衍射光栅以减少散射光,并测量了多层反射镜在3-10 nm区域的反射率。在ISAS平行X射线源(大河原),将现有的13m长光束线(驹场)迁移至渊野部园区,并收集真空测试和对准等基本数据,以将其发展为40m长平行X射线源射线源。激光等离子X射线源(Kato)使用Glass Laser Gekko II测量照射金、铅和铋目标时产生的软X射线,以获得适合使用目的的光谱分布和产生效率,我们进行了理论分析。 。为了通过光电子发射(Miyahara)评估表面界面,我们制造了一个高精度浮动电源来向 XPS 探测器施加电压。在使用表面EXAFS和X射线驻波法(Ota)评估表面界面时,结合使用两种方法来观察当硫和氯吸附在铜和镍上时表面原子结构的重排。对于后一种三维曲面形状评估方法(Higashi,Sato),我们构建了一种光学外差干涉仪实验装置,通过用图像解剖相机进行二维扫描来直接检测表面相位信息。我们测量了干涉仪的基本性能,并对各种条件下干涉仪输出的稳定性进行了实验,证实可以获得纳米级的测量精度。
项目成果
期刊论文数量(8)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
太田俊明: "Polarized XANES Studies of Polyethylene and Fluorinated Polyethylenes" Physica Scripta.
Toshiaki Ota:“聚乙烯和氟化聚乙烯的偏振 XANES 研究”Physica Scripta。
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- 发表时间:
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- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
桜井誠: "UVSORの機器較正用ビームライン" 日本放射光学会誌「放射光」. 2. 1-12 (1989)
Makoto Sakurai:“UVSOR 设备校准的光束线”日本辐射光学学会杂志“同步加速器辐射”(1989)。
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- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
柳原美広: "Optical constants of SiC mirrors produced by different methods for photons of 60-1000eV" Review of Scientific Instruments. 60. 2030-2033 (1989)
Yoshihiro Yanagihara:“针对60-1000eV光子采用不同方法生产的SiC镜的光学常数”科学仪器评论60。2030-2033(1989)
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- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
三谷七郎: "An Apparatus for characterizing the VUV and Soft X-Ray Optical Elements" Review of Scientific Instruments. 60. 2216-2218 (1989)
Shichiro Mitani:“用于表征 VUV 和软 X 射线光学元件的装置”科学仪器评论 60. 2216-2218 (1989)。
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