ナノメ-トル反射回折オ-ジエ電子顕微鏡の試作研究

纳米反射衍射俄歇电子显微镜原型研究

基本信息

批准号：
63850017
负责人：
志水隆一
金额：
$ 8万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research
财政年份：
1988
资助国家：
日本
起止时间：
1988 至 1989
项目状态：
已结题

项目摘要

昨年度試作した同心球型阻止電位メッシュ2枚電極をもつ円筒鏡型エネルギ-アナライザ-(CMA)は、その後の詳細な実験を行った結果、夫々のメッシュ電極が数100ミクロン偏心してとりつけられていることが判明した。これを解決するために新らたにこれら電極を保持しているマコ-ルホルダ-の精密加工を行った。更に帯荷を防ぐために、松下電産(株)が開発した半導体塗料の焼付塗付を行い、このセラミクスホルダ-を用いて、再度CMAへの取り付けを行い実験を再開した。実験は現在もなお続行中であるが、現時点で明らかになっていることを以下に箇條通に示す。(1)2枚の円心球型メッシュ電極は数10ミクロンの精度で同心状にとりけることが出来た。これは分解能テストを行って、信号電子のエネルギ-(弾性散乱ピ-ク)が大きくなるにつれてピ-ク形状が崩れるという現象が無くなったことから裏付けされる。(2)阻止電圧を高くしてもS/Nが急激に劣化するということが見られなくなり、理論通りの特性が定性的に確認された。しかし、定量的な特性評価を行うには、検出器の入射電子のエネルギ-への依存性について正確な知見が必要である。このため現在、検出器をファラテ-カップとして使用する方式に変更して実験を続行中であるが、電流導入端子の絶縁劣化のため暗電流が効いて来て正確な測定が出来ていない。現在、この部分のオ-バホ-ルを行っており、順調にいけば、絶対電流測定が可能になる予定である。これらの結果をもとに本来の目的である、高分解能オ-ジエ分析を試み、とくに反射回折の情報の取り込みについての一連の実験を行って最終結論を出す予定である。とくに同心型阻止電極ホルダ-の製作にあたってきわめて有用なノウハウを得ることが出来たので報告書で詳しく述べる予定である。

圆柱形镜型能量分析仪（CMA）具有两次插入类型的网状原型，该原型是原型的，该原型已被几种100微米的网格电极所理解出去。为了解决这个问题，我们对Mako-Luholder进行了精确处理，该处理以新的方式容纳了这些电极。为了进一步防止包装，对Matsushita den Co.，Ltd.开发的半导体油漆进行了涂漆，并使用此陶瓷持有人，再次恢复了实验以安装CMA。该实验仍在继续，但以下显示以下内容。（1）用几个10微米，可以将两个圆形球形网状电极带入同心的精度。这是由以下事实支持的：当进行分辨率测试时，折磨形状随着信号电子能（弹性散射幼崽）而生长的现象会崩溃。（2）即使增加了预防电压，也不再看到S/N迅速恶化，并且该理论的特征已被定性地证实。但是，为了评估定量特征，需要对检测器入射电子注册的能量进行准确的知识。因此，通过将检测器更改为一种用作FALATE-CUP的方法，该实验正在继续，但是由于当前安装终端的绝缘降低，进行了准确的测量。当前，我们在这部分上进行O-Baho，如果顺利进行，则可以测量绝对电流。基于这些结果，我们将尝试进行高分辨率OH-JIE分析，这是最初的目的，并进行了一系列有关反射折叠信息的导入和最终结论的实验。特别是，我们将能够在同心型预防电极支架的生产中获得非常有用的知识。