Room-temperature solid-phase epitaxial crystallization of wide-gap semiconducting Ga2O3 thin films

宽带隙半导体Ga2O3薄膜的室温固相外延结晶

基本信息

批准号：
26630306
负责人：
Yoshimoto Mamoru
金额：
$ 2.25万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2014
资助国家：
日本
起止时间：
2014-04-01 至 2017-03-31
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-26630306/
关键词：
Ga2O3 ワイドギャップ半導体レーザーアニールエピタキシャル成長低温結晶成長酸化物薄膜固相結晶化パルスレーザー堆積低温成長セラミックス薄膜エピタキシャル薄膜室温合成セラミックス酸化ガリウム薄膜成長単結晶性薄膜

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（19）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Buffer-induced room-temperature epitaxy of β-Ga2O3 thin films by excimer laser annealing

准分子激光退火缓冲液诱导 β-Ga2O3 薄膜室温外延

DOI：
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
0
作者：
A. Matsuda;D. Shiojiri;H. Uchida;K. Nakamura;N. Tsuchimine;S. Kaneko and M. Yoshimoto
通讯作者：
S. Kaneko and M. Yoshimoto

PLD 法を用いたβ-Ga2O3 エピタキシャル薄膜成長NiO バッファー層導入による低温化

使用 PLD 方法生长 β-Ga2O3 外延薄膜通过引入 NiO 缓冲层降低温度

DOI：
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
0
作者：
福田大二;塩尻大士，山内涼輔;土嶺信男;金子智;松田晃史;吉本護
通讯作者：
吉本護

室温レーザーアニールによるβ-Ga2O3薄膜の固相エピタキシーに与えるNiOバッファ層の影響

NiO缓冲层对室温激光退火β-Ga2O3薄膜固相外延的影响

DOI：
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
0
作者：
中村稀星;内田啓貴;土嶺信男;小山浩司;金子智;松田晃史;吉本護
通讯作者：
吉本護

吉本・松田研究室ホームページ

吉本松田实验室主页

DOI：
发表时间：
期刊：
影响因子：
0
作者：
通讯作者：

東京工業大学物質理工学院　吉本・松田研究室

东京工业大学材料科学技术学院吉本松田实验室

DOI：
发表时间：
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作者：
通讯作者：

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Yoshimoto Mamoru其他文献

エキシマレーザーアニーリングによる不純物ドープGa2O3薄膜の固相結晶化および特性評価

准分子激光退火掺杂Ga2O3薄膜的固相结晶及表征

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
Seo Okkyun;Tayal Akhil;Kim Jaemyung;Song Chulho;Chen Yanna;Hiroi Satoshi;Katsuya Yoshio;Ina Toshiaki;Sakata Osami;Ikeya Yuki;Takano Shiori;Matsuda Akifumi;Yoshimoto Mamoru;甲斐稜也・渡邉一樹・大賀友瑛・金子智・松田晃史・吉本護;渡邉一樹・甲斐稜也・大賀友瑛・金子智・松田晃史・吉本護
通讯作者：
渡邉一樹・甲斐稜也・大賀友瑛・金子智・松田晃史・吉本護

Perforated vesicles composed of amphiphilic diblock copolymer: new artificial biomembrane model of nuclear envelope

由两亲性二嵌段共聚物组成的穿孔囊泡：新型核膜人工生物膜模型

DOI：
10.1039/c9sm01832h
发表时间：
2019
期刊：
Soft Matter
影响因子：
3.4
作者：
Seo Okkyun;Kim Jaemyung;Tang Jiayi;Kumara L.S.R.;Kimoto Koji;Miki Kazushi;Matsuda Akifumi;Yoshimoto Mamoru;Sakata Osami;Yoshida Eri
通讯作者：
Yoshida Eri

テラヘルツ振動領域における表面増強ラマン散乱

太赫兹振动区域的表面增强拉曼散射

DOI：
发表时间：
2020
期刊：
化学と工業
影响因子：
0
作者：
Seo Okkyun;Kim Jaemyung;Tang Jiayi;Kumara L.S.R.;Kimoto Koji;Miki Kazushi;Matsuda Akifumi;Yoshimoto Mamoru;Sakata Osami;池田勝佳
通讯作者：
池田勝佳

ゲート吸着型MOFを用いたCO2吸着分離プロセスの検討

门吸附型MOF吸附分离CO2工艺研究

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
Chen Yanna;Sakata Osami;Morita Hiroyuki;Matsuda Akifumi;Jia Fanhao;Seo Okkyun;Kumara Loku Singgappulige Rosantha;Ina Toshiaki;Kobayashi Eiichi;Kim Jaemyung;Song Chulho;Hiroi Satoshi;Palina Natalia;Lou Yanfang;Ren Wei;Yoshimoto Mamoru;平出翔太郎
通讯作者：
平出翔太郎

室温でのパルスレーザー照射によるエピタキシャルβ-Ga2O3薄膜の作製とドーピングの影響

室温脉冲激光辐照外延β-Ga2O3薄膜的制备及掺杂的影响

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
Seo Okkyun;Tayal Akhil;Kim Jaemyung;Song Chulho;Chen Yanna;Hiroi Satoshi;Katsuya Yoshio;Ina Toshiaki;Sakata Osami;Ikeya Yuki;Takano Shiori;Matsuda Akifumi;Yoshimoto Mamoru;甲斐稜也・渡邉一樹・大賀友瑛・金子智・松田晃史・吉本護;渡邉一樹・甲斐稜也・大賀友瑛・金子智・松田晃史・吉本護;渡邉一樹・甲斐稜也・大賀友瑛・金子智・松田晃史・吉本護
通讯作者：
渡邉一樹・甲斐稜也・大賀友瑛・金子智・松田晃史・吉本護