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超高アスペクト比ポリマー構造体へのALDコーティング技術
用于超高纵横比聚合物结构的 ALD 涂层技术
基本信息
- 批准号：23K19176
- 负责人：
- 金额：$ 1.83万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
- 财政年份：2023
- 资助国家：日本
- 起止时间：2023-08-31 至 2025-03-31
- 项目状态：未结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
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